[发明专利]流量控制器及驱动装置

权利要求书

1.一种流量控制器(10、10A)，其特征在于，具备：

第一流路(12、12A)，该第一流路连接在动作切换阀(38)与气缸(30)之间，对所述气缸的缸室(24)进行空气的供给、排放；

第一流量调整部(16)，该第一流量调整部设置于所述第一流路；

第二流路(14、14A)，该第二流路与所述第一流路并联设置；

先导单向阀(20)，该先导单向阀设置于所述第二流路的中途，具有入口端口(20a)、出口端口(20b)以及先导端口(20c)，所述入口端口与所述第二流路的所述动作切换阀侧的第一部分(14a)连接，所述出口端口与所述第二流路的所述气缸侧的第二部分(14b)连接；

第二流量调整部(18)，该第二流量调整部设置于所述第二流路的中途，并与所述先导单向阀串联地连接；

先导空气流路(21、21A)，该先导空气流路的一端与所述动作切换阀连通，另一端与所述先导单向阀的所述先导端口连接；以及

第三流量调整部(22)，该第三流量调整部设置于所述先导空气流路。

2.根据权利要求1所述的流量控制器，其特征在于，

在先导空气的压力小于规定值时，所述先导单向阀阻止从所述出口端口朝向所述入口端口流动的空气，

在所述先导空气的压力为规定值以上时，所述先导单向阀使从所述出口端口朝向所述入口端口流动的空气通过。

3.根据权利要求1或2所述的流量控制器，其特征在于，

所述第三流量调整部具备：

第三节流阀(22a)；以及

单向阀(22b)，该单向阀与所述第三节流阀并联设置，使朝向所述先导端口流动的空气通过并阻止逆向流动的空气。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的流量控制器，其特征在于，

所述第二流量调整部具备：

第二节流阀(18a)；以及

单向阀(18b)，该单向阀与所述第二节流阀并联设置，使朝向所述气缸流动的空气通过，并阻止逆向流动的空气。

5.一种驱动装置(40)，具备：

高压空气供给源(46)，该高压空气供给源向气缸供给高压空气；

排气口(48)，该排气口排出来自所述气缸的排出空气；

动作切换阀(38)，该动作切换阀将所述高压空气供给源和所述排气口中的一方切换地连接到所述气缸的端口；以及

流量控制器，该流量控制器设置于所述动作切换阀与所述气缸的所述端口之间，

所述驱动装置的特征在于，

所述流量控制器具备：

第一流路，该第一流路连接在所述动作切换阀与所述气缸之间，对所述气缸的缸室进行空气的供给、排放；

第一流量调整部，该第一流量调整部设置于所述第一流路；

第二流路，该第二流路与所述第一流路并联设置；

先导单向阀，该先导单向阀设置于所述第二流路的中途，具有入口端口、出口端口以及先导端口，所述入口端口与所述第二流路的所述动作切换阀侧的第一部分连接，所述出口端口与所述第二流路的所述气缸侧的第二部分连接；

第二流量调整部，该第二流量调整部设置于所述第二流路的中途，并与所述先导单向阀串联地连接；

先导空气流路，该先导空气流路的一端与所述动作切换阀连通，另一端与所述先导单向阀的所述先导端口连接；以及

第三流量调整部，该第三流量调整部设置于所述先导空气流路。