[发明专利]用于制造具有承载基底的显示器的方法、根据该方法制造的承载基底和确定用于柔性的显示器的覆盖玻璃在审
| 申请号: | 202080035841.X | 申请日: | 2020-04-27 |
| 公开(公告)号: | CN113826235A | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
| 发明(设计)人: | R.奥斯托尔特;D.邓克;S.施奈德 | 申请(专利权)人: | LPKF激光电子股份公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52;C03C15/00;C03C17/34;C03C23/00 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 侯宇 |
| 地址: | 德国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 制造 具有 承载 基底 显示器 方法 根据 确定 柔性 覆盖 玻璃 | ||
本发明涉及一种用于在承载基底(1)上制造柔性的显示器的方法。为此,在承载基底(1)中在第一步骤中,借助激光辐射,将改性(5)沿闭合的或线形的轮廓引入承载基底(1)中。随后,将由多个层(4)构成的层结构至少在具有改性(5)的区域(2)中施加到基底表面上。随后,承载基底(1)的背对层(4)的侧面经受蚀刻作用,通过蚀刻作用实现承载基底(1)的沿激光改性的区域(2)的轮廓的材料去除,从而凹部(6)在层(4)与承载基底(1)的背对层(4)的外表面之间延伸。以该方式,载体基底(1)和施加到其上的层获得期望的柔性的特性。
本发明涉及一种用于制造具有承载基底、尤其玻璃基底的显示器的方法,该显示器具有至少在承载基底的预先确定的区域中柔性的、可弯曲的和/或弹性的特性。
尤其在小型设备、例如可携带的移动设备(包括有价文件和安全文件)的情况下,例如基于有机发光二极管(OLED)的这种显示器对于显示目的变得越来越重要,因为它们可以制造成非常薄的层。
已知的是,可以柔性地实现OLED显示器。为此,用于柔性的有机发光二极管(FOLED)的后续的结构化的方法是已知的,其中,借助激光辐射从堆叠的层布置中逐渐去除(烧蚀)一个或多个层。
因为它们可以由柔性的承载基底(包括柔性的驱动电路)上的有机材料的层制成,所以它们可以适配于非平坦的表面,或用于本身具有柔性的特性的结构中。
OLED材料对氧气和/或湿气的敏感性已被证实为是有问题的,这会导致相对较短的使用寿命。例如,这可以通过在两个基本上不含氧和/或蒸汽扩散的玻璃层之间引入实际的OLED部件来解决。
另一可能性是,在带有阻挡层的玻璃基底上使用OLED显示器。这些阻挡层例如可以由氧化硅(SiO2)、(硼)硅酸盐、铝酸盐(Al2O3)或金属层(Al、Ag、Au、Rh)或其他的相应的材料构建。
如果玻璃层具有低于特定的边界的厚度,那么这种OLED结构或设备仍保持柔性。通常,具有玻璃层且厚度为100μm或更小的OLED仍然总是具有对于大多数目的所需的柔韧性。
然而,这种薄、即低于50μm或甚至低于20μm的玻璃层是易碎的并且由于它们的脆性而容易破裂。因此,从这方面来看期望的是,为了稳定的目的,将这种OLED与高机械强度的(柔性的或非柔性的)的承载基底连接。
在智能手机的经典的显示器的生产中,由玻璃制成的承载基底用作最下方的层、即所谓的“背板”。工程用玻璃的特性非常适合背板的要求。
用于新型智能手机的可折叠的显示器的开发伴随着过程顺序的重大变化。最初设想用于稳定和固定电子部件的由玻璃制成的背板必须在当前的处理方式中在施加部件之后,在耗费的和提高次品率的方法(激光剥离方法)中被去除。以该方式,只有显示器的没有保护性的背板的可弯曲的部件得到保留。
激光剥离方法是将微电子功能层转移到更轻、更薄的新的承载基底上。这些层的分离在此大多通过选择性的激光烧蚀和高吸收性的中间层(通常是聚合物层)的蒸发而进行。重要的是,相邻的微电子功能层不受激光辐射的能量的影响。
柔性的显示器的生产,无论是用于智能手机、平板电脑还是电子阅读器,总是具有以下共同点:用于单独的像素控制的电路层不再位于固定的玻璃基底上,而是位于可弯曲的层上。
常规的激光剥离方法的缺点是高的过程时间/生产成本和通过方法附加地形成的次品,因为在该方法中,显示器可能会损坏。
这种柔性的显示设备例如从EP 3206108 B1、EP 3456036 A1或EP 2709091 B1已知。
US 2016/057 834 A1还涉及一种用于制造用于显示模块的基底的方法。具有信号电路区域的基底主体施加到透明的承载板上。在基底主体中引入多个开口,并且通过高能光穿过透明的承载板蚀刻下方的表面,以便将基底主体与透明的承载板分离。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





