[实用新型]一种高效超薄硅片生产切割设备有效

专利信息
申请号: 202022741455.2 申请日: 2020-11-24
公开(公告)号: CN214644906U 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 裴忠;苏静洪;张王锋;朱勤超;梁文 申请(专利权)人: 天通日进精密技术有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02;B28D7/02;B28D7/04
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 程开生
地址: 314400 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 高效 超薄 硅片 生产 切割 设备
【说明书】:

本实用新型公开了一种高效超薄硅片生产切割设备,属于硅片加工设备技术领域,包括底板,所述底板底部左右两侧均安装有轮子,所述底板顶端左右两侧均开设有螺纹孔,所述螺纹孔与转动螺杆螺合连接,所述转动螺杆底部固定连接有连接杆,所述连接杆内部上下两侧均固定连接有固定块。本实用新型具有夹持结构和收集结构,这样就可以使得该切割设备在切割时对硅块夹持稳固从而可以避免在切割过程中由于硅块的晃动而影响切割速率和效率且有抽箱对切割后的硅片进行收集,同时该切割设备便于移动和停止且具有减震结构,这样就可以使得该切割设备方便移动至多个地方进行切割工作且方便停住并具有阻尼减震弹簧可以在切割过程中达到减震缓冲的效果。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域,尤其涉及一种高效超薄硅片生产切割设备。

背景技术

硅片厚度是影响生产力的一个因素,它关系到每个硅块所生产出的硅片数量,超薄的硅片给线锯技术提出了额外的挑战,因为其生产过程要困难得多,除了硅片的机械脆性以外,如果线锯工艺没有精密控制,细微的裂纹和弯曲都会对产品良率产生负面影响,超薄硅片线锯系统必须可以对工艺线性、切割线速度和压力以及切割冷却液进行精密控制。无论硅片的厚薄,晶体硅光伏电池制造商都对硅片的质量提出了极高的要求,硅片不能有表面损伤(细微裂纹、线锯印记),且形貌缺陷(弯曲、凹凸、厚薄不均)要最小化,同时对额外后端处理如抛光等的要求也要降到最低,硅片在加工过程中离不开切片机的使用。

专利号CN108422572A的公布了一种高效硅片切片装置。本发明在安装座内表面的下端对称设置了收放转轴,并在安装板的内侧从下到上均通过转子依次活动安装了第一金刚线切片、第二金刚线切片和第三金刚线切片,可有效提高硅片的切割效率以及切割精度,同时本切片装置结构简单,便于拆卸安装与检查,符合企业自身的利益。

现有技术的一种高效硅片切片装置有以下缺点:1、不具有夹持结构和收集结构,这样就不可以使得该切割设备在切割时对硅块夹持稳固从而无法可以避免在切割过程中由于硅块的晃动而影响切割速率和效率且有没有抽箱对切割后的硅片进行收集;2、不便于移动和停止且不具有减震结构,这样就不可以使得该切割设备方便移动至多个地方进行切割工作且不方便停住并不具有阻尼减震弹簧可以在切割过程中达到减震缓冲的效果,为此,我们提出一种高效超薄硅片生产切割设备。

实用新型内容

本实用新型提供一种高效超薄硅片生产切割设备,该切割设备具有夹持结构和收集结构,这样就可以使得该切割设备在切割时对硅块夹持稳固从而可以避免在切割过程中由于硅块的晃动而影响切割速率和效率且有抽箱对切割后的硅片进行收集,同时该切割设备便于移动和停止且具有减震结构,这样就可以使得该切割设备方便移动至多个地方进行切割工作且方便停住并具有阻尼减震弹簧可以在切割过程中达到减震缓冲的效果。

本实用新型提供的具体技术方案如下:

本实用新型提供的一种高效超薄硅片生产切割设备,包括底板,所述底板底部左右两侧均安装有轮子,所述底板顶端左右两侧均开设有螺纹孔,所述螺纹孔与转动螺杆螺合连接,所述转动螺杆底部固定连接有连接杆,所述连接杆内部上下两侧均固定连接有固定块,所述固定块表面固定连接有阻尼减震弹簧,所述连接杆底部固定连接有支撑架,所述底板顶端固定连接有操作台,所述操作台顶端左侧固定连接有固定板,所述固定板一侧固定连接有外壳,所述外壳内侧壁固定连接有弹簧,所述弹簧底部固定连接有竖杆,所述竖杆底部固定连接有夹持板,所述夹持板底部安装有防滑垫,所述防滑垫底部安装有硅块且硅块底部位于操作台顶端,所述操作台外部正表面安装有抽箱,所述操作台顶端右侧开设有矩形通孔。

可选的,所述底板顶端右侧安装有电动升降杆,所述电动升降杆顶端安装有电机。

可选的,所述电机一侧固定连接有旋转轴,所述旋转轴的动力输入端与电机的动力输出端电性连接。

可选的,所述旋转轴一侧固定连接有旋转杆,所述旋转杆一侧安装有钢丝切割片。

可选的,所述电机的动力输入端与外界电源的动力输出端电性连接。

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