[实用新型]一种晶片制造用四轴抛光机

权利要求书

1.一种晶片制造用四轴抛光机，包括主机(1)，其特征在于：所述主机(1)上端面靠后侧的位置固定设置有两个底座(9)，两个所述底座(9)上端面靠近四角处均设置有螺栓(10)，八个所述螺栓(10)的下端贯穿底座(9)螺纹套接在主机(1)上，两个所述底座(9)的其中一个底座(9)内部螺纹套设有螺头(31)，所述螺头(31)的头身位于底座(9)的上端活动套设有座环(17)，两个所述底座(9)的另一个底座(9)上端面中心处固定设置有连接头(22)，所述连接头(22)的头身靠下端的位置活动套设有一号转动杆(15)，所述连接头(22)的头身靠上端的位置固定套设有固定环(20)，所述固定环(20)后侧中心处固定设置有连接杆(23)，所述连接杆(23)远离固定环(20)的一端固定设置有护盖(24)，所述护盖(24)的下端面固定设置在主机(1)的上端面，所述一号转动杆(15)远离连接头(22)的一端贯穿座环(17)通至座环(17)的另一侧，所述一号转动杆(15)的杆身中部活动套设有活套(19)，所述活套(19)的前侧中心处固定设置有拉杆(18)，所述一号转动杆(15)的杆身靠两侧处活动套设有转动板(16)，所述转动板(16)一侧靠上端的位置设置有二号转动杆(30)，所述二号转动杆(30)靠近转动板(16)的一端贯穿转动板(16)通至转动板(16)的另一侧，所述二号转动杆(30)的杆身中部转动连接有三角架(29)，所述三角架(29)后侧靠下端的中心处螺纹套接有一号手杆(25)，所述三角架(29)后侧靠上端的中心处螺纹套接有二号手杆(28)，所述三角架(29)的上端固定设置有固定头(26)，所述固定头(26)的内端螺纹套设有螺杆(27)，所述螺杆(27)的下端贯穿三角架(29)通至三角架(29)的中空处，所述螺杆(27)的上端固定设置有扭动杆(8)，所述主机(1)上端面靠前侧的位置呈等间状开始有四个抛光槽(4)，所述主机(1)上端面位于抛光槽(4)的前端固定设置有引导管(5)，所述引导管(5)后侧呈等间状固定设置有四个吸尘管(6)，四个所述吸尘管(6)远离引导管(5)的一端分别固定设置在抛光槽(4)的底面，所述主机(1)一侧固定设置有支撑板(2)，所述支撑板(2)上端面分别固定设置有吸尘设备(3)和集尘箱(7)，所述集尘箱(7)与吸尘设备(3)通过导流管(12)连接，所述引导管(5)的一端与吸尘设备(3)的吸尘口连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：两个所述底座(9)及与其连接的各个结构均设置为四个。

3.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：所述一号转动杆(15)靠近连接头(22)的一端固定设置有限制头(21)。

4.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：所述主机(1)前侧靠上端的位置呈等间状固定设置有四个操作板(11)。

5.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：所述主机(1)下端面靠近四角处均固定设置有支撑座(14)。

6.根据权利要求5所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：四个所述支撑座(14)的下端均固定设置有自锁万向轮(13)。

7.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：所四个述抛光槽(4)设置成圆形形状。

8.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：所述一号转动杆(15)与二号转动杆(30)相互平行。