[实用新型]一种罩式沙封退火炉

说明书

本实用新型属于退火炉技术领域，尤其为一种罩式沙封退火炉，包括圆盘，所述圆盘的顶部固定连接有固定壳，所述固定壳的顶部固定连接有退火炉本体，所述退火炉本体的侧面通过合页活动连接有顶盖，所述顶盖的底部固定连接有环形板；本实用新型，通过设置环形板、环形槽和第一金属密封圈，当关闭顶盖时，使环形板进入到环形槽内，使环形板与第一金属密封圈的表面搭接，使退火炉本体的密封性更好，提高了退火效率，通过设置螺纹柱和螺纹帽，在对顶盖进行关闭上，使滑筒在滑杆的表面活动，使螺纹柱穿设在第二U形槽内，通过拧动螺纹帽，使螺纹帽的表面与第二固定板的表面搭接，使顶盖和退火炉本体固定的更加的紧密。

技术领域

本实用新型属于退火炉技术领域，具体涉及一种罩式沙封退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能传统的使用退火炉时，内罩很容易被氧化，就会影响退火炉的使用，从而影响产品的质量，而且传统退火炉使用寿命短，影响使用。

中国专利网公开了一种罩式沙封退火炉公开号：CN209981179U，本实用新型公开了一种罩式沙封退火炉，包括退火炉本体，所述退火炉本体的顶部铰件连接顶盖，所述顶盖的前侧面通过螺栓固定连接卡扣，所述退火炉本体的前侧面及对卡扣对应的位置通过螺栓固定连接卡扣锁，所述退火炉本体的底部设置圆盘，所述圆盘的上表面焊接环形板，所述环形板的侧面焊接横板，所述横板的表面开设圆孔，所述圆孔内插接竖杆，所述圆盘的上表面第一环形圈和第二环形圈，所述第二环形圈内侧砌筑高铝砖，所述高铝砖的一侧浇筑沙层，该装置防止内罩氧化，提高了罩式退火炉的使用寿命，采用两道密封，退火效果更好，但顶盖的密封效果不佳，降低了退火效率。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种罩式沙封退火炉，具有密封效果好的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种罩式沙封退火炉，包括圆盘，所述圆盘的顶部固定连接有固定壳，所述固定壳的顶部固定连接有退火炉本体，所述退火炉本体的侧面通过合页活动连接有顶盖，所述顶盖的底部固定连接有环形板，所述退火炉本体的顶部开设有环形槽，所述环形槽的内壁底部设置有第一金属密封圈，所述顶盖和退火炉本体的侧面均固定连接有第一固定板和第二固定板，所述第一固定板的侧面开设有第一U形槽，所述第一U形槽的相对内壁上固定连接有同一个滑杆，所述滑杆的表面活动连接有滑筒，所述滑筒的表面固定连接有螺纹柱，所述第二固定板的侧面开设有第二U形槽，所述螺纹柱穿过第二U形槽螺纹连接有螺纹帽。

优选的，所述顶盖与退火炉本体的顶部均搭接有同一个第二金属密封圈。

优选的，所述退火炉本体的内壁上设置有退火托盘。

优选的，所述固定壳的表面固定连接有横板，所述横板的表面开设有圆孔，且圆孔内穿设有竖杆。

优选的，所述螺纹帽的表面设置有扣板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型，通过设置环形板、环形槽和第一金属密封圈，当关闭顶盖时，使环形板进入到环形槽内，使环形板与第一金属密封圈的表面搭接，使退火炉本体的密封性更好，提高了退火效率，通过设置螺纹柱和螺纹帽，在对顶盖进行关闭上，使滑筒在滑杆的表面活动，使螺纹柱穿设在第二U形槽内，通过拧动螺纹帽，使螺纹帽的表面与第二固定板的表面搭接，使顶盖和退火炉本体固定的更加的紧密。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型正视剖面的结构示意图；

图2为本实用新型中侧视的结构示意图；

图3为本实用新型中A处放大的结构示意图；