[实用新型]一种石墨舟和石墨舟镀膜设备

说明书

本实用新型公开一种石墨舟和石墨舟镀膜设备，涉及太阳能电池技术领域，以解决石墨舟片容易松动的问题。该石墨舟包括M个石墨舟片以及多列用于固定M个石墨舟片的绝缘固定件。每列绝缘固定件为一体式结构或分体式结构，一体式结构的绝缘固定件包含一个绝缘固定单元，分体式结构的绝缘固定件包含两个以上绝缘固定单元。每个绝缘固定单元通过开设的凹槽与相应石墨舟片卡接在一起。各列绝缘固定件中绝缘固定单元的数量、分布设置成，使M个石墨舟片的间距得以固定。本实用新型提供的石墨舟和石墨舟镀膜设备用于等离子体增强化学气相淀积镀膜工艺。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种石墨舟和石墨舟镀膜设备。

背景技术

太阳能电池片的制作流程主要包括表面制绒、扩散制结、后清洗、表面镀膜、丝网印刷和高温烧结等步骤。其中，表面镀膜工艺，主要是采用等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，缩写为 PECVD)在已经形成PN结的硅片表面形成减反射膜，以提高最终所制作的太阳能电池片的光电转换效率。

在硅片表面镀膜的过程中，硅片挂设在石墨舟的石墨舟片上，多个石墨舟片通过陶瓷螺杆和石墨螺母固定连接。挂设有硅片的石墨舟置于镀膜设备中，进行镀膜处理。但是，在石墨舟长时间工作后，固定石墨舟片的陶瓷螺杆和石墨螺母容易松动，导致石墨舟片松动。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨舟和石墨舟镀膜设备，以解决石墨舟片容易松动的问题。

第一方面，本实用新型提供一种石墨舟。该石墨舟包括M个石墨舟片以及多列用于固定M个石墨舟片的绝缘固定件。每列绝缘固定件为一体式结构或分体式结构，一体式结构的绝缘固定件包含一个绝缘固定单元，分体式结构的绝缘固定件包含两个以上绝缘固定单元。每个绝缘固定单元通过开设的凹槽与相应石墨舟片卡接在一起。绝缘固定单元开设有至少两个凹槽，凹槽间距与其卡接的石墨舟片的间距一致。各列绝缘固定件中绝缘固定单元的数量、分布设置成，使M个石墨舟片的间距得以固定。

采用上述技术方案时，绝缘固定件的每个绝缘固定单元通过开设的凹槽与相应石墨舟片卡接在一起，从而可以利用一体式结构或分体式结构的绝缘固定件固定M个石墨舟片。此时，各个石墨舟片通过与相应的凹槽卡接的方式固定，无需连接件辅助，从而解决了因连接件连接松动导致的石墨舟片松动的问题。鉴于石墨舟片松动后，石墨舟片偏离设定位置，需要利用校舟器矫正位置后再次固定。本实用新型石墨舟的石墨舟片不易松动，可以降低校舟器矫正石墨舟片位置的次数。此外，由于石墨舟片位置稳固，因此，当机械手取放晶片时，可以提高机械手抓取、放置晶片的成功率，避免插碎石墨舟片或插碎晶片。

在一些可能的实现方式中，至少一列绝缘固定件为一体式结构，至少一列绝缘固定件开设的凹槽数量为M。也就是，绝缘固定件开设的凹槽数量与上述石墨舟片的数量相同。此时可以采用铸造等方式加工制造该一体式结构的绝缘固定件，在绝缘固定件上对应石墨舟片的位置统一开凹槽即可，加工方便。安装时，将各个石墨舟片卡入绝缘固定件上对应的凹槽即可，操作简单、省时省力，能够有效提高生产效率。

在一些可能的实现方式中，各列绝缘固定件均为一体式结构，每列绝缘固定件开设的凹槽数量为M。此时，一列一体式结构的绝缘固定件即可实现对M 个石墨舟片相对位置的固定。多列一体式结构的绝缘固定件组合使用，可以大大提升对石墨舟片的固定效果，进一步降低石墨舟片松动的几率。

在一些可能的实现方式中，至少一列绝缘固定件为分体式结构。此时，分体式结构的绝缘固定件长度相对较小，从而具有较好的强度，较长的使用寿命。并且，在设备维修、更换时，仅需维修、更换少量破损的分体式结构绝缘固定件即可，鉴于单个分体式结构的绝缘固定件成本较低，可以有效降低生产太阳能电池片的设备维护成本。

在一些可能的实现方式中，各列所述绝缘固定件均为分体式结构。此时，可以通过各列绝缘固定单元的数量、分布情况进行设计，从而具有多种固定石墨舟片的方式，使得石墨舟片的固定方式更加灵活。