[实用新型]一种共面波导线电极结构及调制器

权利要求书

1.一种共面波导线电极结构，其特征在于，包括金属电极和光波导，所述金属电极包括地电极和信号电极，所述信号电极的两侧设有连接臂，所述地电极的内侧设有连接臂，所述信号电极的连接臂末端设有信号线延伸电极，所述地电极的连接臂末端设有接地线延伸电极，所述信号线延伸电极与所述接地线延伸电极之间设有间距D₁，所述光波导穿过所述间距D₁。

2.如权利要求1所述的一种共面波导线电极结构，其特征在于，所述连接臂与信号线延伸电极或接地线延伸电极左侧边缘的垂直距离为t₁，所述连接臂与信号线延伸电极或接地线延伸电极右侧边缘的垂直距离为t₂，相邻两连接臂之间的垂直距离为T，满足以下条件：t₁≥0，t₂≥0，T＞0，0＜t₁+t₂≤T，所述t₁、t₂的数值范围为1-100μm。

3.如权利要求1所述的一种共面波导线电极结构，其特征在于，所述连接臂的宽度为δ₁，所述信号线延伸电极、接地线延伸电极的宽度为δ₂，满足以下条件：δ₁＜t₁+t₂，0＜δ₁＜30μm，0＜δ₂＜30μm。

4.如权利要求1所述的一种共面波导线电极结构，其特征在于，所述地电极和信号电极之间的间距为D，D的范围为：3μm≤D≤200μm，所述地电极的宽度为5-2000μm，所述信号电极的宽度为5-1000μm。

5.如权利要求4所述的一种共面波导线电极结构，其特征在于，所述间距D₁为1μm＜D₁＜D，间距D₂为1μm＜D₂＜D，间距D₃为1μm＜D₃＜D。

6.如权利要求1所述的一种共面波导线电极结构，其特征在于，所述光波导由输入波导、波导分光元件、双臂波导、波导合光元件和输出波导组成，所述金属电极由一个信号电极和两个地电极组成，置于双臂波导的左侧、中间和右侧。

7.一种共面波导线电极结构，其特征在于，包括金属电极和光波导，所述金属电极包括地电极和信号电极，所述信号电极的两侧设有数个连接臂，所述连接臂末端设有信号线延伸电极，所述信号线延伸电极与所述地电极之间设有间距D₂，所述光波导穿过所述间距D₂。

8.如权利要求7所述的一种共面波导线电极结构，其特征在于，所述连接臂的宽度为δ₁，所述信号线延伸电极、接地线延伸电极的宽度为δ₂，满足以下条件：δ₁＜t₁+t₂，0＜δ₁＜30μm，0＜δ₂＜30μm。

9.如权利要求7所述的一种共面波导线电极结构，其特征在于，所述地电极和信号电极之间的间距为D，D的范围为：3μm≤D≤200μm，所述地电极的宽度为5-2000μm，所述信号电极的宽度为5-1000μm。

10.如权利要求7所述的一种共面波导线电极结构，其特征在于，所述间距D₁为1μm＜D₁＜D，间距D₂为1μm＜D₂＜D，间距D₃为1 μm＜D₃＜D。