[实用新型]一种单晶炉用组合坩埚有效
| 申请号: | 202020246248.7 | 申请日: | 2020-03-03 |
| 公开(公告)号: | CN211814713U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
| 发明(设计)人: | 陈超;刘进怀;殷勇;陈斌 | 申请(专利权)人: | 湖南金创新材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司: | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人: | 邱轶 |
| 地址: | 410000 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉用 组合 坩埚 | ||
1.一种单晶炉用组合坩埚,其特征在于:包括相互扣合的埚筒(1)和埚碗(2),所述埚筒(1)包括上埚环(3)、下埚环(4)、N根埚条(5)以及2N个紧固件(6),其中,
N根所述埚条(5)的两端分别可拆卸的连接所述上埚环(3)和下埚环(4)并形成筒状结构,相邻两根所述埚条(5)之间具有间隙,所述下埚环(4)可拆卸的连接埚碗(2)的口端,筒状结构与埚碗(2)内部共同围设形成一个容纳腔;
其中N个所述紧固件(6)连接所述上埚环(3)与埚条(5)的一端,另外N个所述紧固件(6)连接所述下埚环(4)与埚条(5)的另一端。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用组合坩埚,其特征在于:所述上埚环(3)的截面和下埚环(4)的截面为镜像结构或旋转对称结构。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用组合坩埚,其特征在于:所述上埚环(3)和下埚环(4)靠近所述埚条(5)的一端均开设有埚槽(8)、另一端的内侧或外侧均开设有定位台阶(9);所述上埚环(3)和下埚环(4)位于所述埚槽(8)的两侧壁上开设有贯穿的固定孔(7);
所述埚条(5)端部夹持于所述埚槽(8)内部,并通过穿设于固定孔(7)内的紧固件(6)固定;所述定位台阶(9)与所述埚碗(2)开口端部的台阶配合以限定两者之间的径向移动。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用组合坩埚,其特征在于:所述固定孔(7)为销钉孔,所述紧固件(6)为销钉。
5.根据权利要求3所述的一种单晶炉用组合坩埚,其特征在于:所述固定孔(7)为螺纹孔,所述紧固件(6)为螺丝。
6.根据权利要求4或5所述的一种单晶炉用组合坩埚,其特征在于:所述埚条(5)两端对称开设有通孔(10),埚条(5)与埚槽(8)配合时所述通孔(10)与固定孔(7)同轴。
7.根据权利要求6所述的一种单晶炉用组合坩埚,其特征在于:所述埚条(5)数量N的取值范围是:60≤N≤360。
8.根据权利要求7所述的一种单晶炉用组合坩埚,其特征在于:相邻两埚条(5)之间的间隙为:0.01~2mm。
9.根据权利要求1所述的一种单晶炉用组合坩埚,其特征在于:所述埚筒(1)和埚碗(2)的表面均涂覆有抗氧化涂层。
10.根据权利要求7至9任一项所述的一种单晶炉用组合坩埚,其特征在于:所述埚碗(2)分为多瓣,采用等静压石墨或碳-碳复合材料制作而成;所述埚条(5)、上埚环(3)、下埚环(4)和紧固件(6)均采用碳-碳复合材料制作而成。
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