[发明专利]一种引线框架的表面镀膜工艺在审

专利信息
申请号: 202011500584.0 申请日: 2020-12-17
公开(公告)号: CN114649211A 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 何志刚;王敏燕 申请(专利权)人: 安徽省东科半导体有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 代理人: 刘静宇
地址: 243000 安徽省马鞍山市马鞍山经济技术*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 引线 框架 表面 镀膜 工艺
【权利要求书】:

1.一种引线框架的表面镀膜工艺,其特征在于:具体工艺包括如下步骤:

S1、预处理;

S2、离子清洗;

S3、电镀处理;

S4、制备保护层。

2.根据权利要求1所述的一种引线框架的表面镀膜工艺,其特征在于:步骤S1中所述预处理包括:

1)、对成型的引线框架进行打磨,去除表面的毛刺;

2)、将打磨后的引线框架工件放入预处理液中,超声处理4~6min,脱除浮尘和油脂;

其中:预处理液由聚环氧琥珀酸钠、葡萄糖酸钠、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠按1:1~2.5:3~5组成。

3.根据权利要求1所述的一种引线框架的表面镀膜工艺,其特征在于:步骤S2中离子清洗,能够使等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不仅可以清除表面的污染物和杂质,还可以让等离子体作用到固体表面,将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,提高材料表面活性。

4.根据权利要求1所述的一种引线框架的表面镀膜工艺,其特征在于:步骤S3中电镀处理具体操作方式为:将离子清洗后的引线框架工件放入电解液中,作为正极,采用不锈钢板作为负极,电镀处理8~10min,利用电解在工件表面形成均匀、致密、结合良好的金属或合金沉积层,沉积厚度为2~5μm。

5.根据权利要求1所述的一种引线框架的表面镀膜工艺,其特征在于:步骤S3中所述电镀处理过程中电压为320~380V,电流为15~25A,频率为400~600Hz。

6.根据权利要求1所述的一种引线框架的表面镀膜工艺,其特征在于:

步骤S4所述制备保护层具体操作方式为:将电镀处理后的引线框架工件洗涤、烘干后,将聚三氟丙基甲基硅氧烷均匀涂覆在工件表面,室温下固化反应2~3h,再于100~120℃热处理1~2h,制得表面保护层,保护层的厚度为1~3μm。

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