[发明专利]全自动前开式晶圆运输盒包装装置

权利要求书

1.一种全自动前开式晶圆运输盒包装装置，其特征在于：包括移动模块、进料读ID工位(1)、第一贴标工位(2)、第一过渡工位(3)、第一充氮工位(4)、第二过渡工位(5)、第二充氮工位(6)、放干燥剂湿度卡工位(7)、套袋工位(8)、抽真空整形工位(9)、缠胶带工位(10)、第二贴标工位(11)、下料过渡工位(12)和下料工位(13)，所述第一贴标工位(2)、第一过渡工位(3)、第二过渡工位(5)、放干燥剂湿度卡工位(7)、套袋工位(8)、抽真空整形工位(9)、缠胶带工位(10)、第二贴标工位(11)和下料过渡工位(12)依次沿顺时针方向呈工位环布局，所述进料读ID工位(1)设置在第一贴标工位(2)的入口一侧，所述第一充氮工位(4)设置在第一过渡工位(3)的侧面，所述第二充氮工位(6)设置在第二过渡工位(5)的侧面；所述第一过渡工位(3)和第二过渡工位(5)均为充氮过渡工位，第一充氮工位(4)和第二充氮工位(6)均为充氮工位；所述进料读ID工位(1)、第一贴标工位(2)、第一过渡工位(3)、第一充氮工位(4)、第二过渡工位(5)、第二充氮工位(6)、放干燥剂湿度卡工位(7)、套袋工位(8)、抽真空整形工位(9)、缠胶带工位(10)、第二贴标工位(11)、下料过渡工位(12)和下料工位(13)上均设置有移动模块且移动模块实现FOSB在各个工位之间的移动；前开式晶圆运输盒依次在工位环中完成前期准备、充氮、套包装袋、包装袋封口和整形、打包校核和过渡等待操作，并在下料过渡工位(12)进行过渡等待操作后根据需要再次进入工位环中执行二次包装或进入出料模块进行出料操作。

2.根据权利要求1所述的一种全自动前开式晶圆运输盒包装装置，其特征在于：所述移动模块包括顶部移动模块(202)和旋转平移提升传送带。

3.根据权利要求2所述的一种全自动前开式晶圆运输盒包装装置，其特征在于：顶部移动模块包括顶部移动水平直线模组(101)、顶部移动竖直直线模组(102)、顶部移动夹爪(103)和顶部夹爪连接板(104)，顶部移动竖直直线模组(102)固定在顶部移动水平直线模组(101)的滑块上，顶部夹爪连接板(104)固定在顶部移动竖直直线模组(102)的滑块上，顶部移动夹爪(103)安装在顶部夹爪连接板(104)上，工作时，顶部移动竖直直线模组(102)控制顶部移动夹爪(103)的上下移动，顶部移动夹爪(103)自身带有控制顶部移动夹爪(103)开合的气缸，通过顶部移动夹爪(103)的开合抓取FOSB(14)上方的抓取部位。

4.根据权利要求2所述的一种全自动前开式晶圆运输盒包装装置，其特征在于：所述旋转平移提升传送带包括顶部的传送带平台(208)、驱动传送带平台(208)升降的平台升降气缸(209)和驱动传送带平台(208)旋转的平台旋转电机(210)，传送带平台(208)上带有可以水平移动的传送带，平台旋转电机(210)通过同步带机构连接传送带平台(208)下方的旋转轴并通过带动旋转轴的旋转带动传送带平台(208)的旋转，平台升降气缸(209)带动传送带平台(208)和平台旋转电机(210)组成的整体进行升降。

5.根据权利要求1所述的一种全自动前开式晶圆运输盒包装装置，其特征在于：所述进料读ID工位由进料平台(201)、第一拍摄相机和顶部移动模块(202)组成，进料平台(201)设置在顶部移动模块(202)正下方且进料平台(201)设置在第一贴标工位2一侧，第一拍摄相机设置在进料平台(201)正上方。