[发明专利]一种分体式气足有效

专利信息
申请号: 202011263833.9 申请日: 2020-11-12
公开(公告)号: CN114483786B 公开(公告)日: 2023-02-17
发明(设计)人: 张雯 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: F16C32/06 分类号: F16C32/06
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 体式
【权利要求书】:

1.一种分体式气足,用于支撑运动台在工作平台上作无摩擦运动,其特征在于,所述分体式气足包括:

气足板(10),所述气足板(10)的底面上开设真空槽(13),通过对所述真空槽(13)抽真空提供向下的预载力;

气浮机构(20),设于所述气足板(10)上,用于提供向上的气浮力;

预载机构(30),包括设于所述气足板(10)上的预载力传递框架(31)和设于所述预载力传递框架(31)底部的密封板(32),所述密封板(32)用于密封所述真空槽(13),所述预载力传递框架(31)用于将预载力传递至所述气足板(10)上;

所述气足板(10)与所述密封板(32)之间设置密封分离结构,所述密封分离结构被配置为在保持所述真空槽(13)密封的同时,实现所述密封板(32)与所述气足板(10)的脱离;

所述密封分离结构包括:

阻隔件(33),活动设于所述真空槽(13)的槽顶与所述密封板(32)之间;所述密封板(32)的侧壁和所述真空槽(13)的侧壁与所述阻隔件(33)的底面形成有密封槽;

密封胶(34),填充于所述密封槽内,以实现所述真空槽(13)的密封。

2.根据权利要求1所述的分体式气足,其特征在于,所述气足板(10)上开设有由上至下依次连通的容置槽和所述真空槽(13),以使所述气足板(10)形成中空的框体结构;所述预载力传递框架(31)设于所述容置槽内。

3.根据权利要求2所述的分体式气足,其特征在于,所述真空槽(13)的槽顶与所述容置槽的槽壁形成台阶;所述阻隔件(33)由所述真空槽(13)的侧壁水平延伸至所述台阶外。

4.根据权利要求1所述的分体式气足,其特征在于,所述阻隔件(33)为片体结构,所述阻隔件(33)的宽度大于所述密封胶(34)的宽度。

5.根据权利要求1所述的分体式气足,其特征在于,所述密封板(32)呈倒T型结构,所述密封板(32)包括连接部和密封部,所述连接部连接于所述预载力传递框架(31)的底部,所述密封部位于所述真空槽(13)内,所述阻隔件(33)设于所述密封部的顶面与所述真空槽(13)的槽顶之间。

6.根据权利要求3所述的分体式气足,其特征在于,所述容置槽包括由上至下依次贯通的第一容置槽(11)和第二容置槽(12),所述预载力传递框架(31)位于所述第一容置槽(11)内,所述真空槽(13)的槽顶与所述第二容置槽(12)的槽壁形成所述台阶。

7.根据权利要求1所述的分体式气足,其特征在于,所述预载力传递框架(31)与所述气足板(10)通过预载力传递柱(35)连接;所述预载力传递框架(31)上设置第一凹槽(3621),所述气足板(10)上设置第二凹槽(141),所述第一凹槽(3621)与所述第二凹槽(141)沿着垂向间隔设置,所述预载力传递柱(35)沿轴向的两端分别活动设于所述第一凹槽(3621)和所述第二凹槽(141)中。

8.根据权利要求7所述的分体式气足,其特征在于,所述预载力传递柱(35)与所述预载力传递框架(31)的连接点、所述预载力传递柱(35)与所述气足板(10)的连接点以及所述气浮机构(20)的中心均位于同一条垂直于所述工作平台的直线上。

9.根据权利要求7所述的分体式气足,其特征在于,所述预载力传递柱(35)与所述第一凹槽(3621)的槽壁和所述第二凹槽(141)的槽壁之间均存在水平方向上的间隙。

10.根据权利要求7所述的分体式气足,其特征在于,所述预载力传递柱(35)沿轴向设置的两端面均为弧形面,所述第一凹槽(3621)的槽顶和所述第二凹槽(141)的槽底均为平面,以使所述预载力传递柱(35)与所述第一凹槽(3621)和所述第二凹槽(141)均形成点接触。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司,未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011263833.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top