[发明专利]一种分体式气足有效
| 申请号: | 202011263833.9 | 申请日: | 2020-11-12 |
| 公开(公告)号: | CN114483786B | 公开(公告)日: | 2023-02-17 |
| 发明(设计)人: | 张雯 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号: | F16C32/06 | 分类号: | F16C32/06 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 体式 | ||
1.一种分体式气足,用于支撑运动台在工作平台上作无摩擦运动,其特征在于,所述分体式气足包括:
气足板(10),所述气足板(10)的底面上开设真空槽(13),通过对所述真空槽(13)抽真空提供向下的预载力;
气浮机构(20),设于所述气足板(10)上,用于提供向上的气浮力;
预载机构(30),包括设于所述气足板(10)上的预载力传递框架(31)和设于所述预载力传递框架(31)底部的密封板(32),所述密封板(32)用于密封所述真空槽(13),所述预载力传递框架(31)用于将预载力传递至所述气足板(10)上;
所述气足板(10)与所述密封板(32)之间设置密封分离结构,所述密封分离结构被配置为在保持所述真空槽(13)密封的同时,实现所述密封板(32)与所述气足板(10)的脱离;
所述密封分离结构包括:
阻隔件(33),活动设于所述真空槽(13)的槽顶与所述密封板(32)之间;所述密封板(32)的侧壁和所述真空槽(13)的侧壁与所述阻隔件(33)的底面形成有密封槽;
密封胶(34),填充于所述密封槽内,以实现所述真空槽(13)的密封。
2.根据权利要求1所述的分体式气足,其特征在于,所述气足板(10)上开设有由上至下依次连通的容置槽和所述真空槽(13),以使所述气足板(10)形成中空的框体结构;所述预载力传递框架(31)设于所述容置槽内。
3.根据权利要求2所述的分体式气足,其特征在于,所述真空槽(13)的槽顶与所述容置槽的槽壁形成台阶;所述阻隔件(33)由所述真空槽(13)的侧壁水平延伸至所述台阶外。
4.根据权利要求1所述的分体式气足,其特征在于,所述阻隔件(33)为片体结构,所述阻隔件(33)的宽度大于所述密封胶(34)的宽度。
5.根据权利要求1所述的分体式气足,其特征在于,所述密封板(32)呈倒T型结构,所述密封板(32)包括连接部和密封部,所述连接部连接于所述预载力传递框架(31)的底部,所述密封部位于所述真空槽(13)内,所述阻隔件(33)设于所述密封部的顶面与所述真空槽(13)的槽顶之间。
6.根据权利要求3所述的分体式气足,其特征在于,所述容置槽包括由上至下依次贯通的第一容置槽(11)和第二容置槽(12),所述预载力传递框架(31)位于所述第一容置槽(11)内,所述真空槽(13)的槽顶与所述第二容置槽(12)的槽壁形成所述台阶。
7.根据权利要求1所述的分体式气足,其特征在于,所述预载力传递框架(31)与所述气足板(10)通过预载力传递柱(35)连接;所述预载力传递框架(31)上设置第一凹槽(3621),所述气足板(10)上设置第二凹槽(141),所述第一凹槽(3621)与所述第二凹槽(141)沿着垂向间隔设置,所述预载力传递柱(35)沿轴向的两端分别活动设于所述第一凹槽(3621)和所述第二凹槽(141)中。
8.根据权利要求7所述的分体式气足,其特征在于,所述预载力传递柱(35)与所述预载力传递框架(31)的连接点、所述预载力传递柱(35)与所述气足板(10)的连接点以及所述气浮机构(20)的中心均位于同一条垂直于所述工作平台的直线上。
9.根据权利要求7所述的分体式气足,其特征在于,所述预载力传递柱(35)与所述第一凹槽(3621)的槽壁和所述第二凹槽(141)的槽壁之间均存在水平方向上的间隙。
10.根据权利要求7所述的分体式气足,其特征在于,所述预载力传递柱(35)沿轴向设置的两端面均为弧形面,所述第一凹槽(3621)的槽顶和所述第二凹槽(141)的槽底均为平面,以使所述预载力传递柱(35)与所述第一凹槽(3621)和所述第二凹槽(141)均形成点接触。
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