[发明专利]一种微型热导气体传感器

权利要求书

1.一种微型热导气体传感器，包括下盖、以及与所述下盖气密性键合的上盖，其特征在于，所述下盖的上表面设有两个悬浮的热丝组件，其中，每个热丝组件连接一组焊盘；所述上盖的下表面上设有两组依次连接的第一浅槽气道、气道和第二浅槽气道，其中，两个气道分别与两个旁路测试腔室相连，所述两个旁路测试腔室所在的位置与两个所述热丝组件所在的位置相互对应；所述旁路测试腔室包括扩散通道和测试腔室，所述测试腔室所在的位置与所述热丝组件的所在的位置相对应，所述扩散通道为一条，其一端与所述气道的内侧壁或外侧壁连通，另一端与所述测试腔室连通。

2.根据权利要求1所述的微型热导气体传感器，其特征在于，所述气道为直线气道或扇环气道。

3.根据权利要求2所述的微型热导气体传感器，其特征在于，所述扇环气道具有圆角化的弯角，所述弯角的角度范围为(0°，180°]。

4.根据权利要求1所述的微型热导气体传感器，其特征在于，所述扩散通道和测试腔室的连接处设置有倒角。

5.根据权利要求1所述的微型热导气体传感器，其特征在于，所述热丝组件包括开设在所述下盖上表面的隔离槽、通过四个连接于下盖的支撑臂悬浮在所述隔离槽上方的复合膜以及设置在复合膜上的蛇形的隔离热丝。

6.根据权利要求5所述的微型热导气体传感器，其特征在于，所述隔离热丝与上盖表面之间的距离与所述第一浅槽气道和第二浅槽气道的深度相同。

7.根据权利要求1所述的微型热导气体传感器，其特征在于，两组所述焊盘分别靠近所述下盖上表面的一个边缘，所述边缘与所述上盖的第一浅槽气道或第二浅槽气道平行；两个所述热丝组件分别通过连接引线连接至两组所述焊盘。

8.根据权利要求1所述的微型热导气体传感器，其特征在于，所述上盖的下表面还设有四个上接口槽，所述四个上接口槽平分为两组，分别从上盖下表面的边缘凹入，每组内的两个上接口槽相互平行，所述每组依次连接的第一浅槽气道、气道和第二浅槽气道连通在两组上接口槽之间。

9.根据权利要求8所述的微型热导气体传感器，其特征在于，所述下盖的上表面上还设有与四个所述上接口槽位置对应的下接口槽，四个所述下接口槽平分为两组；每个下接口槽和与其位置对应的所述上接口槽共同形成一用于外接毛细管的毛细管接口。