[发明专利]用于对准传感器的检测系统在审

专利信息
申请号: 201980067050.2 申请日: 2019-09-24
公开(公告)号: CN112840274A 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: S·R·惠斯曼 申请(专利权)人: ASML荷兰有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 张昊
地址: 荷兰维*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 对准 传感器 检测 系统
【权利要求书】:

1.一种用于对准传感器的检测系统,包括:

至少一个检测电路;以及

多个光纤芯,用于将测量信号传输到所述至少一个检测电路;

其中所述多个光纤芯中的至少一个子集能够选择性地在检测状态和非检测状态之间切换,从而限定可配置检测斑点。

2.根据权利要求1所述的检测系统,其中所述多个光纤芯被绑定在一起来限定用于接收所述测量信号的光输入。

3.根据权利要求1或2所述的检测系统,其中所述多个光纤芯包括多芯多模光纤。

4.根据权利要求1、2或3所述的检测系统,其中所述检测系统能够在第一检测模式和第二检测模式中操作,在所述第一检测模式中,仅有所述多个光纤芯中的第一子集处于检测状态,在所述第二检测模式中,仅有所述多个光纤芯中的第二子集处于检测状态,所述第一子集小于所述第二子集,从而使得与所述第二检测模式相比,在所述第一检测模式中限定更小的检测斑点。

5.根据权利要求4所述的检测系统,其中所述第二子集包括所述第一子集。

6.根据权利要求4或5所述的检测系统,其中所述第一子集相对于所述第二子集大体定位在中心。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的检测系统,其中所述第一子集包括单个纤芯。

8.根据权利要求4至7中任一项所述的检测系统,其中所述第二子集包括所述多个纤芯中的所有纤芯。

9.根据权利要求4至8中任一项所述的检测系统,其中光纤芯的所述第一子集被光耦合到第一检测电路,并且光纤芯中的不是所述第一子集的部分的所述第二子集被光耦合到第二检测电路。

10.根据权利要求9所述的检测系统,其中对于包括多个光纤芯的光纤芯的所述第一子集和所述第二子集中的每一子集,所述多个光纤芯经由单个更大直径的光纤芯被光耦合到其相应的检测电路。

11.根据权利要求9或10所述的检测系统,其中所述第一检测电路和所述第二检测电路中的每个检测电路均包括针对由所述检测系统检测的每个波长和/或波长带的单个光电换能器。

12.根据权利要求11所述的检测系统,其中所述检测系统能够操作以测量多个波长和/或波长带,并且每个所述检测电路都包括位于所述光纤芯和所述光电换能器之间的光谱滤波器,以分离所述多个波长和/或波长带。

13.根据权利要求4至12中任一项所述的检测系统,附加地能够在至少第三检测模式中操作,在所述第三检测模式中,仅有所述多个光纤芯中的第三子集处于检测状态,光纤芯的所述第三子集大于所述第一子集但小于所述第二子集。

14.根据权利要求4至13中任一项所述的检测系统,其中所述第一子集外的光纤芯中的至少一个光纤芯能够操作用于对由其他光纤芯中的至少一个光纤芯检测的信号进行增益控制。

15.根据权利要求4至14中任一项所述的检测系统,其中所述检测系统包括用于处理所述测量信号的处理器,所述处理器还能够操作以控制光纤芯的检测状态之间的切换,由此控制检测模式之间的切换。

16.根据权利要求15所述的检测系统,其中所述处理器能够操作以基于由光纤芯的所述对应子集中的各个光纤芯检测的对准标记的不同子区域的考虑,来执行针对被测量的所述对准标记的校正。

17.一种对准传感器系统,包括上述权利要求中任一项所述的检测系统,其中所述多个光纤芯的光输入位于所述对准传感器的检测平面处,所述光输入能够操作为所述对准传感器系统的有效场阑。

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