[发明专利]传感器装置和其控制方法以及程序

权利要求书

1.一种传感器装置，具有：

传感器部，输出具有与检测对象的物理量相应的振幅的正弦波的检测信号；

参照信号生成部，生成具有与所述检测信号相等的频率且具有与所述检测信号相等的相位的正弦波的第1参照信号；和

解调部，将所述第1参照信号与从所述传感器部输出的所述检测信号相乘，并生成与该相乘结果的信号所包括的直流分量相应的信号，作为与所述检测对象的物理量相应的第1解调信号，

所述参照信号生成部生成具有与所述检测信号相等的频率且相位相对于所述检测信号偏离了的正弦波的第2参照信号，

所述解调部将所述第2参照信号与从所述传感器部输出的所述检测信号相乘，并生成与该相乘结果的信号所包括的直流分量相应的信号，作为与重叠于所述检测信号的噪声分量相应的第2解调信号。

2.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，

所述参照信号生成部生成相位相对于所述检测信号偏离了4分之1周期的正弦波的信号，作为所述第2参照信号。

3.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其中，

具有：

驱动信号生成部，生成正弦波的驱动信号；和

控制部，

所述传感器部根据输入的所述驱动信号，输出具有与所述驱动信号的驱动频率相等的频率的所述检测信号，

所述控制部计算与所述第2解调信号的时间的变化相应的噪声量，并在计算出的所述噪声量超过阈值的情况下，变更所述驱动频率。

4.根据权利要求3所述的传感器装置，其中，

所述控制部基于在所述解调部中连续地生成的多个所述第2解调信号来计算所述噪声量。

5.根据权利要求3或4所述的传感器装置，其中，

具有多个所述传感器部，

所述解调部针对所述多个传感器部各自而生成所述第1解调信号和所述第2解调信号，

所述控制部针对所述多个传感器部各自而计算所述噪声量，并在针对所述多个传感器部计算出的多个所述噪声量之和超过阈值的情况下，变更所述驱动频率。

6.根据权利要求3～5中任一项所述的传感器装置，其中，

具有多个所述传感器部，

所述多个传感器部各自输出相位相对于所述驱动信号而延迟了的所述检测信号，

所述解调部针对所述多个传感器部各自而生成所述第1解调信号和所述第2解调信号，

所述参照信号生成部针对所述多个传感器部各自，使用所述驱动信号来生成用于所述解调部生成所述第1解调信号的所述第1参照信号、和用于所述解调部生成所述第2解调信号的所述第2参照信号，

所述控制部针对所述多个传感器部各自而单独地设定所述第1参照信号相对于所述驱动信号的相位的延迟以及所述第2参照信号相对于所述驱动信号的相位的延迟。

7.根据权利要求3～6中任一项所述的传感器装置，其中，

所述控制部在变更所述驱动频率的情况下，从预先决定的多个频率中，选择与现在的所述驱动频率不同的频率来作为新的所述驱动频率。

8.根据权利要求3～6中任一项所述的传感器装置，其中，

所述控制部：

在检测所述物理量的通常模式下，将所述参照信号生成部控制为生成所述第1参照信号，并将所述解调部控制为生成所述第1解调信号，

在检测所述噪声的噪声检测模式下，将所述参照信号生成部控制为生成所述第2参照信号，并将所述解调部控制为生成所述第2解调信号，

计算与在所述噪声检测模式下生成的所述第2解调信号的时间的变化相应的所述噪声量，

在所述噪声量超过所述阈值的情况下，变更所述通常模式下的所述驱动频率。

9.根据权利要求8所述的传感器装置，其中，

所述控制部在所述通常模式下，周期性地重复由所述解调部进行的所述第1解调信号的生成，并且周期性地重复暂时性地从所述通常模式向所述噪声检测模式转换且计算所述噪声量的动作。