[实用新型]一种可控弧斑管式阴极结构

权利要求书

1.一种可控弧斑管式阴极结构，包括阴极(1)、设于阴极(1)外的阴极水冷套(2)、设于阴极水冷套(2)外部的磁场线圈(4)，其特征在于：所述的阴极(1)位于阴极水冷套(2)内，两者同轴安装，阴极水冷套(2)外部绕磁场线圈(4)，并且阴极水冷套(2)下端设有绝缘体(5)；

所述的阴极(1)内部为中空的，其顶端封闭，下端开口，顶端加工开口作为阴极气体入口(8)；

2.如权利要求1所述的一种可控弧斑管式阴极结构，其特征在于：所述的阴极水冷套(2)为底面开口的中空圆柱体，上端面加工安装孔，阴极(1)上端位于安装孔内，阴极(1)主体位于阴极水冷套(2)内，并且阴极(1)底部与阴极水冷套(2)底面开口密封连接。

3.如权利要求2所述的一种可控弧斑管式阴极结构，其特征在于：所述的阴极水冷套(2)内壁与阴极(1)表面具有一定空隙，该空隙为冷却水通道，阴极水冷套(2)上加工有阴极冷却水出入口(7)和阴极冷却水出口(3)。

4.如权利要求1所述的一种可控弧斑管式阴极结构，其特征在于：所述的磁场线圈(4)的匝数为250～300。

5.如权利要求1所述的一种可控弧斑管式阴极结构，其特征在于：所述的阴极(1)高度为150～170mm，半径为8～12mm。

6.如权利要求1所述的一种可控弧斑管式阴极结构，其特征在于：所述的磁场线圈(4)与电源(6)连接。

7.如权利要求6所述的一种可控弧斑管式阴极结构，其特征在于：所述的电源(6)输出电流为8～12A。