[实用新型]一种装载光学镀膜夹具的器具

说明书

本实用新型提供一种装载光学镀膜夹具的器具，包括用于位于蒸发源上方的伞状行星锅，所述行星锅上沿圆周方向布设有圆形的夹具通孔，所述器具上部具有环形镀膜夹具的包括架于夹具通孔上部的第一圆环及由第一圆环下部延伸内缩的深入夹具通孔内的第二圆环，所述第二圆环的下部内缩延伸有第三圆环，所述第一圆环与第二圆环连接处形成的第一阶面用于支撑器具，所述第三圆环与第二圆环连接处形成的第二阶面用于承载夹具，本方案通过采用三段式的圆环结构，能够方便对夹具的支撑与固定，另外第一圆环及第二圆环作为抓取的承受壁，便于将夹具取出进行翻面。

技术领域

本实用新型涉及一种装载光学镀膜夹具的器具。

背景技术

工业上常用真空镀膜设备进行蒸发镀膜以完成基片表面沉积膜层形成保护膜的工作，真空蒸发镀膜需要一定的真空条件和蒸发条件，真空蒸发镀膜设备中的主要部件之一是镀膜治具；为提高镀膜工作的效率，真空镀膜设备一般为大型机腔，因此，镀膜治具也以大型治具为设计宗旨，目前，除小型镀膜治具或特殊形状镀膜治具外，常用的大型镀膜治具为伞形的行星锅，伞形的行星锅比平面的镀膜治具面积更大，而分布在治具表面镀膜产品量相应增大，但是，伞形行星锅由于伞形具有一定倾斜度，半导体激光器光学镀膜需要在高温下进行，且需要对两个腔面镀增透膜和高反膜，故镀完增透膜后需对夹具进行翻面，由于镀膜开腔后温度较高，在腔内对夹具进行翻面很容易发生烫伤，故需要将夹具从行星锅的孔洞中取出进行翻面，但由于现有装载夹具的器具侧壁是垂直光滑的，没有可以被爪子抓取的承受壁，无法将夹具取出进行翻面，本方案通过采用三段式的结构，在一个大圆环上由外向内切一个圆环形成挡圈作为爪子抓取的承受壁，便于将夹具取出进行翻面。

发明内容

本实用新型对上述问题进行了改进，即本实用新型要解决的技术问题是现有的行星锅膜厚均匀性进行调节时需要利用根据里中外膜厚的差异制作不同宽度的弧形挡板反复进行十分麻烦。

本实用新型的具体实施方案是：一种装载光学镀膜夹具的器具，包括用于位于蒸发源上方的伞状行星锅，所述行星锅上沿圆周方向布设有圆形的夹具通孔，所述器具上部具有环形镀膜夹具的包括架于夹具通孔上部的第一圆环及由第一圆环下部延伸内缩的深入夹具通孔内的第二圆环，所述第二圆环的下部内缩延伸有第三圆环，所述第一圆环与第二圆环连接处形成的第一阶面用于支撑器具，所述第三圆环与第二圆环连接处形成的第二阶面用于承载夹具。

进一步的，所述第一圆环外径为55mm内径为50mm高为2mm，所述第二圆环的高为内径为50mm，外径为52mm，高为9.5 mm的，所述第三圆环内径为48mm，外径为50mm，高为4mm，所述夹具通孔的孔径为外径为52mm。

进一步的，所述蒸发源与伞状行星锅之间还设置有用于改善光学镀膜行星锅均匀性的器具，一种装载光学镀膜夹具的器具包括支撑杆，所述支撑杆上端侧部固定连接有凸杆，所述凸杆侧部固定连接有纵向设置的连接板，所述连接板顶部固定有横向挡板固定板，所述挡板固定板上固定有挡板，所述连接板是上具有与凸杆配合的轴孔，及以轴孔为圆心沿圆弧状排布的多排限位孔，所述支撑杆上还贯穿有能与限位孔配合的固定销。

进一步的，所述挡板固定板固定有垂直于挡板固定板的凸柱，所述挡板上具有以供凸柱置入的插孔，所述挡板上的插孔具有多个。

进一步的，所述挡板具有多个且沿挡板固定板的长度方向排布。

进一步的，所述支撑杆上具有以供固定销穿过的销孔。

进一步的，所述挡板具有多层。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型通过支撑杆与连接板的固定方式，使连接板与支撑杆连接能够通过限位孔与固定销的灵活拆装易于调整，挡板与挡板固定板连接固定，调节底板与固定杆角度即可调节挡板与蒸发源角度，挡板由块弧形挡板组成，每两块挡板通过螺栓连接成一块，通过调节重合的面积对行星锅里中外圈的均匀性进行调节。

附图说明