[实用新型]一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具

说明书

本实用新型提供一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具，包括支撑杆，所述支撑杆上端侧部固定连接有凸杆，所述凸杆侧部固定连接有纵向设置的连接板，所述连接板顶部固定有横向挡板固定板，所述挡板固定板上固定有挡板，所述连接板是上具有与凸杆配合的轴孔，及以轴孔为圆心沿圆弧状排布的多排限位孔，所述支撑杆上还贯穿有能与限位孔配合的固定销，本实用新型结构简单能够方便地设置于行星锅和和蒸发源之间进行导向，利用限位孔和调节支撑杆与底板的角度和挡板的位置至满足工艺的要求，改善行星锅里中外膜厚的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具。

背景技术

工业上常用真空镀膜设备进行蒸发镀膜以完成基片表面沉积膜层形成保护膜的工作，真空蒸发镀膜需要一定的真空条件和蒸发条件，真空蒸发镀膜设备中的主要部件之一是镀膜治具；为提高镀膜工作的效率，真空镀膜设备一般为大型机腔，因此，镀膜治具也以大型治具为设计宗旨，目前，除小型镀膜治具或特殊形状镀膜治具外，常用的大型镀膜治具为伞形的行星锅，伞形的行星锅比平面的镀膜治具面积更大，而分布在治具表面镀膜产品量相应增大，但是，伞形行星锅由于伞形具有一定倾斜度，镀膜产品在伞形治具表面的位置各不相同，因此所涂覆的膜层厚度也各不相同，影响膜层的均匀性，同时还会导致镀膜产品的边缘、棱角处无法完全沉积膜层，直接影响镀膜效果；由于行星锅里中外圈的膜厚不一致，需要加入一个修正板对膜厚进行修正，使里中外圈的膜厚一致，现有的调节行星锅均匀性的装置为一个固定的四周边缘为圆滑的弧形挡板外加一根固定角度连接杆组成，挡板通过螺丝固定在连接杆上。对行星锅里，中，外三圈膜厚均匀性进行调节时，现有装置只能根据里中外膜厚的差异制作不同宽度的弧形挡板反复进行实验确认，且挡板与蒸发源的角度只能通过制作新的连接杆调节，这样非常耗时，且调节方向不可修复。

发明内容

本实用新型对上述问题进行了改进，即本实用新型要解决的技术问题是现有的行星锅膜厚均匀性进行调节时需要利用根据里中外膜厚的差异制作不同宽度的弧形挡板反复进行十分麻烦。

本实用新型的具体实施方案是：一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具，包括支撑杆，所述支撑杆上端侧部固定连接有凸杆，所述凸杆侧部固定连接有纵向设置的连接板，所述连接板顶部固定有横向挡板固定板，所述挡板固定板上固定有挡板，所述连接板是上具有与凸杆配合的轴孔，及以轴孔为圆心沿圆弧状排布的多排限位孔，所述支撑杆上还贯穿有能与限位孔配合的固定销。

进一步的，所述挡板固定板固定有垂直于挡板固定板的凸柱，所述挡板上具有以供凸柱置入的插孔，所述挡板上的插孔具有多个。

进一步的，所述挡板具有多个且沿挡板固定板的长度方向排布。

进一步的，所述支撑杆上具有以供固定销穿过的销孔。

进一步的，所述挡板具有多层。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型通过支撑杆与连接板的固定方式，使连接板与支撑杆连接能够通过限位孔与固定销的灵活拆装易于调整，挡板与挡板固定板连接固定，调节底板与固定杆角度即可调节挡板与蒸发源角度，挡板由块弧形挡板组成，每两块挡板通过螺栓连接成一块，通过调节重合的面积对行星锅里中外圈的均匀性进行调节。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图。

图2为本实用新型连接板及挡板固定板结构示意图。

图3为本实用新型挡板结构示意图。

图4为本实用新型连接状态。

图5为本实用新型结构挡板排布结构示意图。

图6为本实用新型使用状态侧视结构示意图。

图7为本实用新型改善光学镀膜行星锅均匀性的器具使用状态结构示意图。