[实用新型]阴极狭缝遮挡装置

说明书

本实用新型涉及PVD镀膜设备技术领域，尤其涉及一种阴极狭缝遮挡装置。该阴极狭缝遮挡装置包括两个挡板、限位装置、以及驱动两个所述挡板进行相对或相向运动的驱动装置，所述限位装置包括两个平行设置的导轨，每个所述挡板分别设有两个滑块，两个所述滑块分别与两个所述导轨对应滑动连接，每个所述挡板分别连接两个所述驱动装置，两个所述驱动装置对应设置于所述挡板两端。本实用新型提供的阴极狭缝遮挡装置，能够对两个挡板之间阴极狭缝的宽度进行调节，从而有效控制膜层厚度及均匀性，提高产品的转化率。

技术领域

本实用新型涉及PVD镀膜设备技术领域，尤其涉及一种阴极狭缝遮挡装置。

背景技术

目前，太阳能行业在中国的发展势头势不可挡，太阳能发电已经成为我国的重点科研项目。PVD镀膜作为太阳能电池的重要工艺，膜层的好坏将直接影响太阳能电池的质量和转换率，所以PVD镀膜的厚度及均匀性是PVD镀膜工艺的一个重要的研究方向。然而，现有的阴极镀膜方式，存在膜层厚度及均匀性不好控制的问题。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型的目的是提供一种阴极狭缝遮挡装置，解决现有技术无法有效控制膜层厚度及均匀性的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种阴极狭缝遮挡装置，包括两个挡板、限位装置、以及驱动两个所述挡板进行相对或相向运动的驱动装置；所述限位装置包括两个平行设置的导轨，每个所述挡板分别设有两个滑块，两个所述滑块分别与两个所述导轨对应滑动连接；每个所述挡板分别连接两个所述驱动装置，两个所述驱动装置对应设置于所述挡板两端。

进一步地，每个所述驱动装置均包括驱动机构、与所述驱动机构连接的传动机构、以及与所述传动机构连接的齿轮，每个所述挡板分别设有两个齿条，两个所述齿条分别与两个所述齿轮对应啮合连接。

进一步地，所述驱动机构包括驱动电机以及与所述驱动电机连接的减速器。

进一步地，所述传动机构包括依次连接的减速器联轴器、磁流体和齿轮联轴器，所述减速器联轴器与所述减速器相连，所述齿轮联轴器与所述齿轮相连。

具体地，两个所述挡板和所述限位装置均设置于腔体内部，所述驱动机构设置于所述腔体外部。

具体地，所述腔体设有磁流体安装孔，所述磁流体安装于所述磁流体安装孔中；在所述磁流体与所述磁流体安装孔之间设有密封件。

具体地，两个所述挡板设置于阴极上方，所述阴极安装于所述腔体的底板上表面，两个所述导轨对应设置于所述阴极两端；所述腔体的底板设有阴极安装孔，在所述腔体的底板的下表面对应所述阴极安装孔的位置处安装有封板。

具体地，所述导轨安装于导轨安装块上，所述导轨安装块安装于所述腔体的底板上表面。

具体地，所述齿轮的齿轮轴安装于轴承中，所述轴承安装于轴承安装块上，所述轴承安装块安装于所述腔体的底板上表面。

具体地，所述滑块与所述挡板的底面连接固定，所述齿条与所述挡板的侧面连接固定。

(三)有益效果

本实用新型的上述技术方案具有如下优点：

本实用新型提供的阴极狭缝遮挡装置，通过设置两个挡板，各挡板通过两个驱动装置驱动控制，驱动装置带动挡板运动，使得各挡板上的两个滑块能够在两个导轨上对应滑动，进而使得两个挡板能够进行相对或相向运动，实现对两个挡板之间阴极狭缝宽度的调节，从而调节溅射区域，进而实现对PVD镀膜工艺中膜层厚度及均匀性的有效控制，提高产品的转化率，同时还可以起到防止污染的作用。

本实用新型所述的阴极狭缝遮挡装置，操作简单方便，有效减少了阴极数量，降低了成本。