[实用新型]一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台

说明书

本实用新型公开了一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台，包括探针台，所述探针台的下端固定连接有两个支撑腿，所述探针台上设有放置槽，所述探针台上设有两个装置腔，两个所述装置腔均通过直槽与放置槽相连通，两个所述直槽内套设有移动杆，两个所述移动杆位于放置槽内的一端均固定连接有限位装置，两个所述移动杆位于装置腔内的一端均固定连接有顶动机构，两个所述移动杆位于直槽内的侧壁上均固定连接有弹性机构。本实用新型结构设计合理，具有方便操作，方便对不同尺寸形状的硅晶进行固定的好处。

技术领域

本实用新型涉及硅晶圆探针台技术领域，尤其涉及一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

现有技术中，一种探针台一般可以固定一种形状的硅晶，当有不同形状的硅晶时，固定时会出现固定不稳的情况，因此，我们提出了一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台，包括探针台，所述探针台的下端固定连接有两个支撑腿，所述探针台上设有放置槽，所述探针台上设有两个装置腔，两个所述装置腔均通过直槽与放置槽相连通，两个所述直槽内套设有移动杆，两个所述移动杆位于放置槽内的一端均固定连接有限位装置，两个所述移动杆位于装置腔内的一端均固定连接有顶动机构，两个所述移动杆位于直槽内的侧壁上均固定连接有弹性机构。

优选地，所述限位装置包括固定连接在移动杆位于放置槽内的一端上的T型限位板，所述T型限位板上套设有弧形板，所述弧形板上设有T型槽，所述T型限位板位于T型槽内，所述弧形板的下端固定连接有滑块，所述放置槽的内底部设有滑槽，所述滑块在滑槽内滑动。

优选地，所述顶动机构包括固定连接在移动杆位于装置腔内的一端上的楔形块，所述探针台的上端螺纹连接有螺钉，所述螺钉的尾端贯穿延伸至装置腔内，所述螺钉的尾端与楔形块的斜面相抵。

优选地，所述弹性机构包括固定连接在移动杆位于直槽内的侧壁上的固定块，所述固定块的侧壁上弹性连接有弹簧，所述弹簧的另一端与直槽的槽壁相抵，所述弹簧不会脱离直槽。

优选地，所述弧形板可替换成其他形状。

优选地，所述滑块的直径与滑槽的宽度相差1cm到2cm。

本实用新型具有以下有益效果；

1、通过设置限位装置、顶动机构与弹性机构相互配合，简化了固定的操作流程，只要操作人员同时拧动两个螺钉即可实现对硅晶的固定，简单快捷；

2、通过设置T型槽与T型限位板相互配合，可以随时更换限位板，方便探针台固定不同形状的硅晶，具有通用性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台的弧形板剖视图；

图3为本实用新型提出的一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台的俯视示意图。

图中：1滑块、2滑槽、3放置槽、4弧形板、5 T型限位板、6移动杆、7弹簧、8固定块、9楔形块、10螺钉、11装置腔、12探针台、13支撑腿、14 T型槽。

具体实施方式