[实用新型]一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台有效
| 申请号： | 201920331392.8 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN210347692U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 王宜 | 申请（专利权）人： | 江苏斯米克电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 214124 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 尺寸 芯片 使用 硅晶圆 探针 | ||
1.一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台，包括探针台(12)，其特征在于，所述探针台(12)的下端固定连接有两个支撑腿(13)，所述探针台(12)上设有放置槽(3)，所述探针台(12)上设有两个装置腔(11)，两个所述装置腔(11)均通过直槽与放置槽(3)相连通，两个所述直槽内套设有移动杆(6)，两个所述移动杆(6)位于放置槽(3)内的一端均固定连接有限位装置，两个所述移动杆(6)位于装置腔(11)内的一端均固定连接有顶动机构，两个所述移动杆(6)位于直槽内的侧壁上均固定连接有弹性机构。
2.根据权利要求1所述的一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台，其特征在于，所述限位装置包括固定连接在移动杆(6)位于放置槽(3)内的一端上的T型限位板(5)，所述T型限位板(5)上套设有弧形板(4)，所述弧形板(4)上设有T型槽(14)，所述T型限位板(5)位于T型槽(14)内，所述弧形板(4)的下端固定连接有滑块(1)，所述放置槽(3)的内底部设有滑槽(2)，所述滑块(1)在滑槽(2)内滑动。
3.根据权利要求1所述的一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台，其特征在于，所述顶动机构包括固定连接在移动杆(6)位于装置腔(11)内的一端上的楔形块(9)，所述探针台(12)的上端螺纹连接有螺钉(10)，所述螺钉(10)的尾端贯穿延伸至装置腔(11)内，所述螺钉(10)的尾端与楔形块(9)的斜面相抵。
4.根据权利要求1所述的一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台，其特征在于，所述弹性机构包括固定连接在移动杆(6)位于直槽内的侧壁上的固定块(8)，所述固定块(8)的侧壁上弹性连接有弹簧(7)，所述弹簧(7)的另一端与直槽的槽壁相抵，所述弹簧(7)不会脱离直槽。
5.根据权利要求2所述的一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台，其特征在于，所述弧形板(4)可替换成其他形状。
6.根据权利要求2所述的一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台，其特征在于，所述滑块(1)的直径与滑槽(2)的宽度相差1cm到2cm。
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