[实用新型]布气结构及具有其的反应腔体组件有效
| 申请号: | 201920328293.4 | 申请日: | 2019-03-14 |
| 公开(公告)号: | CN210001919U | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
| 发明(设计)人: | 冯鑫彬;贾晓霞;李琳琳;曹志强;宋士佳;陈光羽 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
| 代理公司: | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 张亚辉 |
| 地址: | 102209 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 侧壁 进气口 本实用新型 布气结构 气体通道 出气口 镀膜 壳体 反应腔体 气体分布 不均匀 有效地 连通 | ||
1.一种布气结构,其特征在于,包括:
壳体(10),所述壳体(10)包括侧壁,所述侧壁上设置有进气口(11)和出气口(12),所述侧壁内具有气体通道,所述气体通道连通所述进气口(11)和所述出气口(12)。
2.根据权利要求1所述的布气结构,其特征在于,所述侧壁围设成筒状结构,所述侧壁包括外侧壁和内侧壁,所述出气口(12)设置在所述内侧壁上。
3.根据权利要求2所述的布气结构,其特征在于,所述出气口(12)为多个。
4.根据权利要求3所述的布气结构,其特征在于,靠近所述进气口(11)的出气口(12)的出口面积小于远离所述进气口(11)的出气口(12)的出口面积。
5.根据权利要求2所述的布气结构,其特征在于,所述气体通道形成在所述内侧壁和所述外侧壁之间。
6.根据权利要求2所述的布气结构,其特征在于,所述进气口(11)为多个,所述多个进气口(11)相间隔地设置在所述筒状结构的第一端,且所述内侧壁和所述外侧壁之间在连接所述进气口(11)的一端封闭。
7.根据权利要求6所述的布气结构,其特征在于,所述布气结构还包括挡板(20),所述挡板(20)位于所述壳体(10)的第二端。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的布气结构,其特征在于,所述布气结构还包括均气筛网,所述均气筛网设置在所述出气口(12)处。
9.一种反应腔体组件,包括反应腔体(30)和设置在所述反应腔体(30)内的布气结构,其特征在于,所述布气结构为权利要求1至8中任一项所述的布气结构。
10.根据权利要求9所述的反应腔体组件,其特征在于,所述反应腔体(30)包括侧板(31)和盖板(32),所述盖板(32)位于所述侧板(31)的远离所述壳体(10)的一端。
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