[实用新型]吸附定位式抽真空装置

权利要求书

1.一种吸附定位式抽真空装置，其特征在于：包括形成有主腔的基体，与所述的基体一体形成或固定连接的吸附部，所述的吸附部构造有开口端设置有密封组件的副腔，所述的主腔和副腔分别受控与抽真空机构连通。

2.根据权利要求1所述的一种吸附定位式抽真空装置，其特征在于：所述的基体和/或吸附部上构造有水循环管路或水冷腔，所述的水循环管路或水冷腔对应与水冷机构连通。

3.根据权利要求1所述的一种吸附定位式抽真空装置，其特征在于：所述的基体为构造有主腔的柱状、块状或片状，所述的副腔一体构造于所述的主腔外侧。

4.根据权利要求3所述的一种吸附定位式抽真空装置，其特征在于：所述的副腔为构造于主腔外周的环形。

5.根据权利要求3所述的一种吸附定位式抽真空装置，其特征在于：所述的副腔为位于所述的主腔外侧的至少一个独立腔体，所述的独立腔体相互独立、相连通或部分连通。

6.根据权利要求1所述的一种吸附定位式抽真空装置，其特征在于：所述的吸附部通过连接臂与所述的基体固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种吸附定位式抽真空装置，其特征在于：所述的吸附部为一个或多个，分别或分组通过所述的连接臂与基体固定连接。

8.根据权利要求6所述的一种吸附定位式抽真空装置，其特征在于：所述的连接臂内设置有水冷管路和主腔抽气管路，该连接臂对应的吸附部上设置有接水口和主腔抽真空接口。

9.根据权利要求1所述的一种吸附定位式抽真空装置，其特征在于：所述的基体上设置有封口机构。

10.根据权利要求1所述的一种吸附定位式抽真空装置，其特征在于：所述的基体由金属制成。