[实用新型]一种新型冷却遮板

说明书

本实用新型公开了一种新型冷却遮板，包括冷却遮板本体，所述冷却遮板本体靠近热源直射的表面上加工成增加曝露面积的扩散形状面，所述冷却遮板本体内开设有直接深孔钻加工出的一道道可以供导热媒介全面直接接触遮板的循环深孔水路，所述冷却遮板本体外表面经过喷砂粗糙处理及染黑处理形成一层黑色磨砂层。本实用新型可运用于高精度温度控制之环境中，其各项主动抓热及吸热设计，可快速及时反映真空环境中之当前温度，依温度需求，搭配冰水机或油温机进行降温或升温，进行准确的温度精密控制，具有优异的冷却效果，可运用于高温环境，温度不易累积，不会造成遮板变形问题。

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种新型冷却遮板。

背景技术

现行真空溅镀设备之腔内遮罩，於真空溅镀时，反应物直接溅射附着于腔内而设计之防镀遮罩，主要功能系以达到保护腔内清洁，防止直接被大量反应物职沉积，并间接遮断发热源产生之”真空辐射热”直接照射于腔体，但现行的设计往往造成此遮罩可以有效防止反应物直接沉积,但使用于高温热源的真空腔室环境热源持续累积无法被有效的媒介传导带走，容易造成严重变形。

目前在物理气象沉积(PVD)及化学气象沉积(CVD)真空设备中，所采用的传统遮板设计主要还是以遮挡溅镀设备制程反应物附着，并阻断热源直射腔体或怕高温零件，但经常在高温直射状况下容易导致遮板严重变形，其水路设计采外部圆管焊接，非整体水路接触，无法快速将温度控制。

有鉴于现行之遮罩缺点，为了克服目前传统遮板无法达到的弹性温度控制，此新实用新型采用主动积极地面对的设计概念，进行主动补抓温度或释放温度，此新实用新型的技术领域融入五项重要设计及加工要素，更有效地满足现有设备在真空环境温度控制的问题，以应对未来真空镀膜设备面对未来市场多样产品需求。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种温度控制精密准确、冷却效果好、解决高温环境下，遮板容易变形问题的新型冷却遮板。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种新型冷却遮板，包括冷却遮板本体，所述冷却遮板本体靠近热源直射的表面上加工成增加曝露面积的扩散形状面，所述冷却遮板本体内开设有直接深孔钻加工出的一道道可以供导热媒介全面直接接触遮板的循环深孔水路。

进一步的，所述扩散形状面为三角型、凹凸型、半圆波浪型中的一种。

进一步的，所述循环深孔水路外接油温机或冰水机。

进一步的，所述循环深孔水路在冷却遮板本体内呈S型分布。

进一步的，所述冷却遮板本体外表面经过喷砂粗糙处理及染黑处理形成一层黑色磨砂层。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

本实用新型在有各种温度下使用的物理气象沉积(PVD)设备及化学气象机沉积(CVD)设备运用的永续性，应多变的市场镀膜产品需求，可运用于高精度温度控制之环境中，其各项主动抓热及吸热设计，可快速及时反映真空环境中之当前温度，依温度需求，搭配冰水机或油温机进行降温或升温，进行准确的温度精密控制，具有优异的冷却效果，可运用于高温环境，温度不易累积，不会造成遮板变形问题。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型一种新型冷却遮板的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种新型冷却遮板的局部放大示意图；

图3为本实用新型一种新型冷却遮板的剖视结构示意图。

具体实施方式