[发明专利]具有在线自检测功能的对称型MEMS定向微波功率耦合器有效
| 申请号： | 201911412952.3 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111273089B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张志强;孙国琛;韩磊;黄晓东 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08;G01R21/00;G01R35/00;B81B7/02;B81B7/00;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 薛雨妍 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 在线 检测 功能 对称 mems 定向 微波 功率 耦合器 | ||
1.一种具有在线自检测功能的对称型MEMS定向微波功率耦合器，其特征在于：包括GaAs衬底（20），在GaAs衬底（20）上设有CPW传输线（1）、ACPS传输线（2）、对称型定向耦合器（3）、压焊块（13）和电容式MEMS微波功率传感器（4）；所述的对称型定向耦合器（3）位于MEMS定向微波功率耦合器的中间,包括CPW传输线（1）和ACPS传输线（2）；所述的CPW传输线（1）作为MEMS定向微波功率耦合器的端口传输线，其中CPW传输线（1）的信号线构成了对称型定向耦合器（3）的主传输线；所述的ACPS传输线（2）的信号线构成了对称型定向耦合器（3）的副传输线；所述的电容式MEMS微波功率传感器（4）位于对称型定向耦合器的CPW传输线（1）与ACPS传输线（2）连接节点处；每个电容式MEMS微波功率传感器（4）包括MEMS固支梁（15）、CPW传输线（1）、Si3N4绝缘介质层（11）、传感电极（14）、连接线（17）、空气桥（16）和压焊块（13）；所述的每个MEMS固支梁（15）横跨在CPW信号线上且两端通过锚区固定在CPW地线上，且MEMS固支梁（15）的两端通过锚区分别固定在CPW信号线两侧的CPW地线上，在MEMS固支梁（15）下方的CPW信号线两侧对称地放置两个传感电极（14），使用连接线（17）实现传感电极（14）与压焊块（13）的互联；在连接线（17）上方设置空气桥（16）连接被隔断的CPW地线；在连接线（17）、MEMS固支梁（15）下方的CPW信号线和传感电极（14）上覆盖Si3N4绝缘介质层（11），两段所述的ACPS传输线（2）的信号线对称分布于主传输线的上下两侧，其中每段ACPS传输线（2）的长度为四分之一波长。
2.根据权利要求1所述的具有在线自检测功能的对称型MEMS定向微波功率耦合器，其特征在于：所述的电容式MEMS微波功率传感器（4）设置有四个，且是完全相同的。
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