[发明专利]一种提升靶材焊合率的方法

权利要求书

1.一种提升靶材焊合率的方法，其特征在于步骤包括：

提供一背板，其在一表面规定为第一焊合面；

提供一靶材，其在一表面规定为第二焊合面；

在焊料熔融状态下，对第一焊合面金属化处理，其面上形成第一焊料层；

在焊料熔融状态下，对第二焊合面金属化处理，其面上形成第二焊料层；

在焊料熔融状态下将超声波振动施加于焊接部位焊料，让第一焊料层与第二焊料层进行软焊接合。

2.根据权利要求1所述的提升靶材焊合率的方法，其特征在于：超声波从垂直于焊料层的方向施加，施加位置位于靶材或背板的表面。

3.根据权利要求1所述的提升靶材焊合率的方法，其特征在于：所述靶材的材料选自于Al、Mo、ITO、Si或Cr。

4.根据权利要求1所述的提升靶材焊合率的方法，其特征在于：所述背板的材料较佳选自于由Cu或Ti。

5.根据权利要求1所述的提升靶材焊合率的方法，其特征在于：所述焊料为In或Sn。