[发明专利]一种表面二阶非线性光学测试装置及测试方法

权利要求书

1.一种表面二阶非线性光学测试装置，其特征在于，所述光学测试装置包括：

激光单元，用于以指定角度向待测样品发射入射光；

检测单元，用于接收所述入射光射向待测样品后产生的反射光，所述反射光为入射光的倍频光，并对所述反射光的信号强度进行检测，得到待测样品表面的二阶非线性光学信息。

2.根据权利要求1所述的表面二阶非线性光学测试装置，其特征在于，所述光学测试装置还包括：

第一分光棱镜，设置在所述激光单元和所述待测样品之间的光路上，所述第一分光棱镜镀有所述入射光波长的增透膜。

3.根据权利要求1所述的表面二阶非线性光学测试装置，其特征在于，所述光学测试装置还包括：

第二分光棱镜，设置在所述待测样品和所述检测单元之间的光路上，所述第二分光棱镜镀有所述反射光波长的增透膜。

4.根据权利要求3所述的表面二阶非线性光学测试装置，其特征在于，所述第二分光棱镜还镀有所述入射光波长的增透膜。

5.根据权利要求1所述的表面二阶非线性光学测试装置，其特征在于，所述检测单元包括光电探测器和数据采集器；

所述光电探测器接收所述入射光射向待测样品后产生的反射光，获取反射光的信号强度，并将其转化为电信号后传输给所述数据采集器；

所述数据采集器接收该电信号，并将其转化为数字信号。

6.根据权利要求1所述的表面二阶非线性光学测试装置，其特征在于，所述激光单元为纳秒、皮秒或者飞秒的激光器，所述激光器出射红外光波段、可见光波段或者紫外光波段的激光。

7.一种表面二阶非线性光学测试方法，其特征在于，所述方法包括：

将入射光以指定角度射向待测样品；

经过所述待测样品反射，得到反射光；

对所述反射光的信号强度进行检测，得到待测样品表面的二阶非线性光学信息，其中所述反射光为入射光的倍频光。

8.根据权利要求7所述的表面二阶非线性光学测试方法，其特征在于，所述入射光以指定角度射向待测样品之前，所述方法还包括：

去除掉所述入射光以外的光波。

9.根据权利要求7所述的表面二阶非线性光学测试方法，其特征在于，对待测样品的反射光的信号强度进行检测之前，所述方法还包括：

去除掉所述待测样品的反射光以外的光波。

10.根据权利要求7所述的表面二阶非线性光学测试方法，其特征在于，对所述反射光的信号强度进行检测的具体方法为：

接收所述待测样品的反射光，获取反射光的信号强度；

将反射光的信号强度转化为电信号，再将该电信号转化为数字信号。