[发明专利]一种晶圆导片机构及应用该晶圆导片机构的湿法设备

权利要求书

1.一种晶圆导片机构，其特征在于，包括安装壳体、用以夹持晶圆片的夹持组件、以及用以调整夹持组件使夹持组件进行弧形对开运动的联杆调节模组，所述夹持组件固定在安装壳体内，联杆调节模组固定在安装壳体的外侧，所述联杆调节模组包括固定在安装壳体上的气缸、与气缸的活塞杆相连的联动组件、以及转动曲柄，所述转动曲柄的一端固定在联动组件上、另一端与夹持组件的从安装壳体内伸出的端部相连；

所述夹持组件包括两个支撑板、夹持件、旋转轴杆和曲柄联动轴杆，所述两个支撑板设置于安装壳体的内侧，每个支撑板上均固定有夹持件，每个支撑板的两端部均螺纹固定有一个旋转轴杆，所述旋转轴杆通过转动阻挡组件与安装壳体相连；所述曲柄联动轴杆的一端螺纹固定在支撑板上、另一端穿过安装壳体与转动曲柄相连；

所述联动组件包括调整板和联动安装杆，所述调整板的底部与气缸的活塞杆相连，调整板的板面上从上往下设置有多组安装孔，所述调整板通过设置在任一组安装孔内的紧固件与联动安装杆相固定，所述联动安装杆的两端分别固定有一个转动曲柄。

2.根据权利要求1所述的晶圆导片机构，其特征在于，所述安装壳体包括两个相对设置的安装板、安装在两个安装板的侧边上的侧板、以及固定在其中一个安装板的顶部和底部的盖板，所述曲柄联动轴杆的一端螺纹固定在支撑板上、另一端从安装有盖板的安装板中伸出并与转动曲柄相连，转动曲柄与联动组件相连。

3.根据权利要求2所述的晶圆导片机构，其特征在于，转动阻挡组件包括转动支座和转动阻挡槽盖，旋转轴杆穿过转动支座，转动支座设置于安装板的内侧，转动阻挡槽盖设置于安装板的外侧，转动支座和转动阻挡槽盖通过紧固件相固定。

4.根据权利要求3所述的晶圆导片机构，其特征在于，所述气缸与安装壳体底部的盖板之间还设置有支撑座。

5.根据权利要求1或2中任一项所述的晶圆导片机构，其特征在于，所述转动曲柄包括上部曲柄和下部曲柄，所述上部曲柄的端面上设有凹槽和用以嵌装转动轴承的第一转动槽，凹槽的槽底上沿其长度方向设有止动槽；

所述下部曲柄的一端端面上设有止动孔、另一端端面上设有凸起部，凸起部上设有用以嵌装转动轴承的第二转动槽，下部曲柄扣合在凹槽内并使其凸起部抵接在上部曲柄的端面上，下部曲柄和上部曲柄通过穿过止动槽和止动孔的紧固件锁紧固定。

6.根据权利要求1所述的晶圆导片机构，其特征在于，所述夹持件上设有多个固定孔，夹持板的上端部设置有齿沟结构，齿沟结构由多个连续的齿构成，每个齿均具有齿背、齿前、以及齿背与齿前相交处形成的齿尖，所述齿背倾斜设置，所述齿前包括第一段、垂直连接在第一段下端的第二段、以及连接在第二段下端的第三段，所述第一段和第三段均朝向与前一齿的齿背相背离的方向倾斜设置。

7.根据权利要求6所述的晶圆导片机构，其特征在于，所述第一段的倾斜角度大于第三段的倾斜角度，第三段与前一齿的齿背之间的夹角为54°。

8.一种湿法设备，其特征在于，包括权利要求1-7中任一项所述的晶圆导片机构。