[发明专利]一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用在审
| 申请号： | 201910921052.5 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110541145A | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 曾浩恩;谭天明 | 申请（专利权）人： | 宁波丽成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高硬度 等离子体清洁 偏压等离子体 低摩擦系数 磁控溅射 镀件夹具 真空镀膜 钻孔刀具 清洁 脱脂 抽真空 复合式 离子源 润滑性 钛薄膜 高铝 微钻 氧氮 制程 制作 薄膜 应用 基地 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用，其特征在于，包括以下步骤：
工件脱脂清洁；
固定与镀件夹具；
抽真空；
偏压等离子体清洁；
离子源等离子体清洁；
TiAl；
TiAlN提供高硬度基地；
TiAlON层，提供润滑性薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用，其特征在于，具体包括以下步骤：工件放入镀膜室中抽真空，启动工件转架旋转，待真空抽至3.0帕，启动加热起至适当温度，待真空度大6x10-3帕时，开始制程，加氩气至2帕，依序调整电压电压产生等离子做工件表面清洁，10-15分钟，之后减少氩气支3x10-1帕，打开霍尔离子源，进行10-15分钟的第二阶的等离子体清洁，启动电弧蒸发源，启动镀件是的偏压，通入Ar气至1.5×10-1帕镀Ti层，第二层通N2气镀TiAlN层。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用，其特征在于，所述适当温度为350-400度。
4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用，其特征在于，所述依序调整电压为400-800V。
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