[发明专利]一种具有高反射P电极的红黄光发光二极管芯片在审
| 申请号: | 201910822392.2 | 申请日: | 2019-09-02 |
| 公开(公告)号: | CN110444645A | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
| 发明(设计)人: | 汤英文 | 申请(专利权)人: | 闽南师范大学 |
| 主分类号: | H01L33/40 | 分类号: | H01L33/40;H01L33/46 |
| 代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 赵桂芳 |
| 地址: | 363000 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 反射电极 黄光发光二极管 全反射镜 芯片 高反射 发光二极管技术 发光二极管芯片 欧姆接触电极 导电基板 光刻腐蚀 芯片制造 上端 反射率 粘结层 黄光 键合 | ||
本发明属于发光二极管技术领域,公开了一种具有高反射P电极的红黄光发光二极管芯片,设置有P面;P面先生长一层SiO2或者ITO,P面通过光刻腐蚀出SiO2或ITO的孔,孔里形成P面欧姆接触电极;在SiO2或ITO上形成微米的反射电极,反射电极的起粘结层作用与SiO2连接,反射电极与SiO2或ITO一起组成芯片的全反射镜;全反射镜与导电基板键合在一起,在发光二极管芯片N层层上端设置有N电极。本发明能使Ag与SiO2或ITO紧密粘在一起,使Ag做反射电极,降低了芯片制造成本,提高了对红黄光的反射率。
技术领域
本发明属于发光二极管技术领域,尤其涉及一种具有高反射P电极的红黄光发光二极管芯片。
背景技术
目前,业内常用的现有技术是这样的:
具有高反射P电极的红黄光发光二极管芯片:红黄光芯片为了增加出光效率,必须做成反极性芯片,目前反极性芯片都是在P面先生长一层SiO2或者ITO,然后在光刻腐蚀出SiO2或ITO的孔,露出P面,然后在SiO2或ITO上形成AuBe反射电极,反射电极与SiO2或ITO一起组成芯片的全反射镜,再与导电基板键合在一起,去掉红黄光生长衬底,在N面上形成N电极,形成高亮度的芯片,这里反射电极用Au有两个方面的缺点:
Au对红黄光的反射率没有Ag的高。
Au的使用增加了芯片制造成本,红黄光芯片一直没有使用Ag做反射电极,主要是没有好的办法使Ag与SiO2或ITO紧密粘在一起,这样就不能使用Ag做反射电极。
综上所述,现有技术存在的问题是:
(1)Au对红黄光的反射率没有Ag的高。
(2)Au的使用增加了芯片制造成本,红黄光芯片一直没有使用Ag做反射电极,主要是没有好的办法使Ag与SiO2或ITO紧密粘在一起,这样就不能使用Ag做反射电极。
发明内容
针对现有技术存在的问题,本发明提供了一种具有高反射P电极的红黄光发光二极管芯片。
本发明是这样实现的,一种具有高反射P电极的红黄光发光二极管芯片设置有:
P面;
P面先生长一层SiO2或者ITO,P面通过光刻腐蚀出SiO2或ITO的孔,孔里形成P面欧姆接触电极;
在SiO2或ITO5上形成Al1-/Cu1-/Ag-5微米的反射电极,反射电极的Al1-/Cu1-起粘结作用与SiO2连接,反射电极与SiO2或ITO一起组成芯片的全反射镜;
全反射镜与导电基板键合在一起,SiO2或ITO层上端设置有N电极。
本发明的另一目的在于提供一种具有高反射P电极的红黄光发光二极管芯片制作方法,包括以下步骤:
步骤一,在P面先生长一层SiO2或者ITO,然后在光刻腐蚀出SiO2或ITO的孔,露出P面,在孔里形成欧姆接触;
步骤二,在SiO2或ITO上形成Al1-/Cu1-/Ag-5微米的反射电极,这里Al、Cu的厚度很薄,对Ag的反射率影响不大,这里Cu的作用主要是增加反射电极与SiO2的粘付性,反射电极与SiO2或ITO一起组成芯片的全反射镜;
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