[发明专利]一种半导体芯片生产用浸没式光刻机及其方法

权利要求书

1.一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，包括工作台，其特征在于，所述工作台的顶部固定安装有支撑架，所述支撑架的底部固定安装有探测头，所述工作台的顶部滑动连接有移动托盘，且移动托盘上固定连接有横向位置调节组件，所述工作台的顶部固定安装有顶部设置有开口的处理箱，所述处理箱的一侧转动铰接有密封门，所述处理箱的顶部固定安装有对称设置两个支撑板，且两个支撑板相互靠近的一侧固定安装有同一个横板，所述横板的底部固定安装有推杆电机，所述推杆电机的输出轴上设置有夹持组件，且夹持组件上夹持固定有硅片，所述处理箱内设置有清洗组件和烘干组件；

所述横向位置调节组件包括固定安装在工作台上的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上焊接有螺杆，所述移动托盘的底部固定安装有移动块，且螺杆贯穿移动块并和移动块螺纹连接；

所述夹持组件包括固定安装在推杆电机输出轴上的安装板，所述安装板的底部固定安装有挡板，所述安装板的底部滑动连接有夹持板，所述安装板的顶部固定安装有旋转电机，所述旋转电机的输出轴上焊接有转动轴，且转动轴的底部延伸至安装板的下方并固定安装有第二伞齿轮，所述安装板的底部转动连接有丝杆，所述丝杆延伸至夹持板内并和夹持板螺纹连接，所述丝杆上固定套设有第一伞齿轮，且第一伞齿轮和第二伞齿轮相啮合，所述硅片位于夹持板和挡板之间。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述清洗组件包括固定安装在处理箱底部内壁上的清洗箱，所述清洗箱的底部内壁上固定安装有抱闸电机，所述抱闸电机的输出轴延伸至清洗箱内并固定安装有固定板，所述固定板的顶部固定安装有对称设置的两个搅拌轴，所述工作台的顶部固定安装有储液箱，所述储液箱内设置有清洗液，所述处理箱的一侧内壁上固定安装有水泵，且水泵的进液管和储液箱相连接，所述水泵的出液管延伸至清洗箱内。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述烘干组件包括固定安装在处理箱一侧的热风机，清洗箱的一侧固定设置有与内部相连通的吹风管，且吹风管和热风机的出风口相连通。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述夹持板的顶部固定安装有滑块，所述安装板的底部固定安装有滑轨，且滑块和滑轨滑动连接。

5.根据权利要求2所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述清洗箱的底部内壁上固定安装有出水管，且出水管的一端延伸至清洗箱的一侧，位于清洗箱一侧的出水管的一端设置有电磁阀。

6.根据权利要求2所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述清洗箱内固定安装有与侧壁相贴合的滤网，且滤网位于固定板的下方。

7.一种如权利要求1所述的半导体芯片生产用浸没式光刻机的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将多个待加工的硅片放置在夹持板挡板之间，此时启动旋转电机，旋转电机会带动丝杆进行转动，而丝杆和夹持板螺纹连接，所以可以推动夹持板进行横向移动对硅片进行夹持固定；

S2：启动推杆电机，推杆电机推动硅片向下进行移动，当硅片移动到清洗箱内时，启动旋转电机反转，便可以将硅片落入到清洗箱内，再通过推杆电机将夹持组件移动到初始位置上；

S3：启动水泵，可以将储液箱内清洗液排入到清洗箱内，然后启动抱闸电机，可以带动搅拌轴进行转动，此时可以使清洗液快速流动，因而利用清洗液可以对硅片进行清洗；

S4：当对硅片清洗完毕之后，启动电磁阀打开出水管，进而清洗液可以通过电磁阀将清洗液排出，硅片落入到滤网上；

S5：启动热风机，热风机通过吹风管可以对硅片进行烘干；

S6：待对硅片烘干完毕之后，然后打开密封门，便可以将硅片取出放置在移动托盘上；

S7：启动驱动电机可以带动移动托盘进行横向移动，当移动到硅片和探测头处于一个竖直中心线，便可停止对硅片的移动，此时便可以对硅片进行加工。