[发明专利]一种基于Fano共振的蛋白质传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910446789.6 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN110057784A | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 韩程章;王霞;赵秋玲 | 申请（专利权）人： | 青岛科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 青岛中天汇智知识产权代理有限公司 37241 | 代理人： | 王丹丹 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传感器 制备 灵敏度 共振 蛋白质 传感器结构 共振模式 金属膜 棱镜 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于Fano共振的蛋白质传感器，其特征在于所述基于Fano共振的蛋白质传感器结构从下到上包括棱镜、金属膜、YF3膜和AlN膜。
2.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器，其特征在于所述的AlN膜位于传感器的最上层直接和待测介质样品接触。
3.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器，其特征在于所述的AlN膜厚度为50-200nm。
4.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器，其特征在于所述的YF3膜厚度为100-1000nm。
5.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器的制备方法，其特征在于按如下步骤进行：
(1)将所述棱镜1依次用丙酮、无水乙醇、去离子水各自超声清洗3分钟，氮气吹干；
(2)通过磁控溅射法或电子束沉积法在所述棱镜1上表面蒸镀金属膜2；
(3)通过磁控溅射法或电子束沉积法在所述金属膜2上表面蒸镀YF3膜3；
(4)通过磁控溅射法或电子束沉积法在所述YF3膜3上表面蒸镀AlN膜4。
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