[发明专利]MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备

说明书

一种MEMS声音传感器，包括：背板，开设有多个声孔；振膜，与所述背板相对设置且与所述背板之间存在间隙；所述振膜和所述背板构成电容结构；以及连接柱，包括相对设置的第一端和第二端；所述连接柱的第一端与所述背板固定连接；所述连接柱的第二端至少部分的材料嵌入所述振膜且与所述振膜电性连接，以将所述振膜悬挂于所述背板上。

技术领域

本发明涉及麦克风技术领域，特别是涉及一种MEMS声音传感器及其制备方法、MEMS麦克风及电子设备。

背景技术

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的电能换声器，具有体积小、频响特性好以及噪声低等优点。随着电子设备的小型化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。MEMS声音传感器是MEMS麦克风中的关键器件，其性能直接影响整个MEMS麦克风的性能。传统的MEMS声音传感器的抗吹击与抗跌落、滚动以及滚筒测试等机械冲击力量的性能较弱，越来越无法适应人们的使用需求。

发明内容

根据本申请的各种实施例，提供一种MEMS声音传感器及其制备方法、MEMS麦克风及电子设备。

一种MEMS声音传感器，包括：

背板，开设有多个声孔；

振膜，与所述背板相对设置且与所述背板之间存在间隙；所述振膜和所述背板构成电容结构；以及

连接柱，包括相对设置的第一端和第二端；所述连接柱的第一端与所述背板固定连接；所述连接柱的第二端至少部分的材料嵌入所述振膜且与所述振膜电性连接，以将所述振膜悬挂于所述背板上。

一种MEMS麦克风，包括印刷电路板以及设置在所述印刷电路板上的MEMS声音传感器；所述MEMS声音传感器采用如前所述的MEMS声音传感器。

一种电子设备，包括设备本体以及设置在所述设备本体上的MEMS麦克风；所述MEMS麦克风采用如前所述的MEMS麦克风。

本申请的一个或多个实施例的细节在下面的附图和描述中提出。本申请的其他特征、目的和优点将从说明书、附图以及权利要求书变得明显。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他实施例的附图。

图1为第一实施例中的MEMS声音传感器的剖视图；

图2为一实施例中的连接柱的排布示意图；

图3为图1所示实施例中的MEMS声音传感器的俯视图；

图4～48为第二～四十六实施例中的MEMS声音传感器的剖视图；

图49a为第一实施例中的振膜的结构示意图；

图49b为图49a的局部放大图；

图49c为图49b中的弹性结构在打开状态的示意图；

图49d为图49b中的弹性结构在闭合状态的示意图；

图50～52为第二～第四实施例中的振膜的局部结构示意图；

图53a为第五实施例中的振膜的局部结构示意图；

图53b为图53a中的褶皱结构的剖视图；

图54～55为第六～第七实施例中的振膜的局部结构示意图。

具体实施方式