[实用新型]一种激光分光装置及加工装置

说明书

本实用新型公开了一种激光分光装置及加工装置，包括：底座；激光器，设置在所述底座上；半波片组件，设置在所述激光器的出光光路上，包括半波片及与之传动连接的驱动装置，所述半波片在所述驱动装置的驱动下以所述激光器发出的激光的光轴为中心旋转；分束装置，设置有薄膜偏振分光片以及与之连接的维度调节组件，所述薄膜偏振分光片设置在所述半波片的出光光路上。本实用新型带来的有益效果是提高高功率激光分束的稳定性，可对激光分束后的能量进行控制，且操作方便。

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，具体涉及一种激光分光装置及加工装置。

背景技术

随着激光技术的发展，超快脉冲激光器的平均功率及峰值功率越来越高，在激光精密加工设备中，为高效利用激光器的高功率，通常将激光器输出的光束分束，设备由一个加工头增加为两个甚至更多。固体超快激光器的输出光束为线偏振光，在使用波片+偏振分光棱镜的分光技术中，高功率高能量密度通常导致偏振分光棱镜产生热透镜等非线性效应。

并且，在确定反射镜反射率后，固定光源输出固定功率，分光光路的功率就不能再次改变，这样在激光功率调节上极为不便。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供了一种激光分光装置及加工装置，旨在解决使用波片+偏振分光棱镜的分光技术中，高功率高能量密度通常导致偏振分光棱镜产生热透镜等非线性效应，以及分光光路的功率不能再次改变的问题。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下：

一种激光分光装置，包括：

底座；

激光器，设置在所述底座上；

半波片组件，设置在所述激光器的出光光路上，包括半波片及与之传动连接的驱动装置，所述半波片在所述驱动装置的驱动下以所述激光器发出的激光的光轴为中心旋转；

分束装置，设置有薄膜偏振分光片以及与之连接的维度调节组件，所述薄膜偏振分光片设置在所述半波片的出光光路上。

优选的，所述维度调节组件包括：设置在所述底座上的滑台组件、设置在所述滑台组件上的支座、设置在所述支座上的三维角度调节架、以及设置在所述三维角度调节架上的安装座；所述薄膜偏振分光片设置在所述安装座上。通过将所述薄膜偏振分光片设置在所述安装座上，可以更好的固定所述薄膜偏振分光片。通过将所述安装座设置在所述三维角度调节架上，可以通过所述三维角度调节架带动所述薄膜偏振分光片进行旋转，从而调节所述薄膜偏振分光片的角度，使光束以布儒斯特角入射。

优选的，所述三维角度调节架包括：设置在所述支座上的固定板、可旋转设置在所述固定板上的旋转板、以及设置在所述固定板上用于调节所述旋转板倾斜角度的倾斜调节机构；所述安装座设置在所述旋转板上。通过设置旋转板可以调节所述薄膜偏振分光片的旋转角度，通过在所述固定板上设置倾斜调节机构，可以调节所述旋转板的水平位置，保证所述薄膜偏振分光片的表面与光路传播平面垂直。

优选的，所述滑台组件包括：设置在所述底座上的滑板、可滑动设置在所述滑板上的滑台；所述支座设置在所述滑台上。所述滑板上设置所述滑台，所述支座又设置在所述滑台上，这样可以通过调节滑台的位置带动所述薄膜偏振分光片移动，使光束的入射点保持在所述薄膜偏振分光片的中心。

优选的，所述安装座上设置有至少一个用于拆装所述薄膜偏振分光片的缺口。这样在安装以及拆卸所述薄膜偏振分光片的时候，方便装入或取出所述薄膜偏振分光片。

优选的，所述薄膜偏振分光片通过点胶固定到所述安装座上，所述薄膜偏振分光片的边缘涂抹散热硅脂。所述薄膜偏振分光片通过点胶固定到所述安装座上，可以减少所述薄膜偏振分光片受到的应力，降低激光束波前畸变，还在所述薄膜偏振分光片的边缘涂抹散热硅脂，可以提高所述薄膜偏振分光片的散热能力，降低热效应。