[实用新型]一种激光分光装置及加工装置

权利要求书

1.一种激光分光装置，其特征在于，包括：

底座；

激光器，设置在所述底座上；

半波片组件，设置在所述激光器的出光光路上，包括半波片及与之传动连接的驱动装置，所述半波片在所述驱动装置的驱动下以所述激光器发出的激光的光轴为中心旋转；

分束装置，设置有薄膜偏振分光片以及与之连接的维度调节组件，所述薄膜偏振分光片设置在所述半波片的出光光路上。

2.根据权利要求1所述的一种激光分光装置，其特征在于，所述维度调节组件包括：设置在所述底座上的滑台组件、设置在所述滑台组件上的支座、设置在所述支座上的三维角度调节架、以及设置在所述三维角度调节架上的安装座；

所述薄膜偏振分光片设置在所述安装座上。

3.根据权利要求2所述的一种激光分光装置，其特征在于，所述三维角度调节架包括：设置在所述支座上的固定板、可旋转设置在所述固定板上的旋转板、以及设置在所述固定板上用于调节所述旋转板倾斜角度的倾斜调节机构；

所述安装座设置在所述旋转板上。

4.根据权利要求2或3所述的一种激光分光装置，其特征在于，所述滑台组件包括：设置在所述底座上的滑板、可滑动设置在所述滑板上的滑台；

所述支座设置在所述滑台上。

5.根据权利要求2所述的一种激光分光装置，其特征在于，所述安装座上设置有至少一个用于拆装所述薄膜偏振分光片的缺口。

6.根据权利要求2所述的一种激光分光装置，其特征在于，所述薄膜偏振分光片通过点胶固定到所述安装座上，所述薄膜偏振分光片的边缘涂抹散热硅脂。

7.根据权利要求2所述的一种激光分光装置，其特征在于，所述维度调节组件上设置有用于控制所述薄膜偏振分光片温度的闭环冷却系统。

8.根据权利要求7所述的一种激光分光装置，其特征在于，所述闭环冷却系统包括：设置在所述安装座底部的热敏电阻、设置在所述支座与所述三维角度调节架之间的半导体制冷器、设置在所述支座上的第一冷水管、以及与所述第一冷水管对应设置在所述支座上的第二冷水管。

9.根据权利要求1所述的一种激光分光装置，其特征在于，还包括：用于反射所述分束装置透射出的光束的第一反射组件、以及用于反射所述分束装置反射出的光束的第二反射组件。

10.一种激光加工装置，其特征在于，包括：权利要求1-9任一所述的激光分光装置、设置在所述激光分光装置透射出的光束的光路上的第一激光加工头、以及设置在所述激光分光装置反射出的光束的光路上的第二激光加工头。