[实用新型]一种阴极震动的高性能的电镀设备

说明书

本实用新型公开一种阴极震动的高性能的电镀设备，包括机体，机体包括固定机构和振动机构，固定机构的阴极板框顶部固定连接振动机构的振动框底部，固定机构包括固定柱、螺杆固定板、调节螺杆和阴极板框，固定柱固定安装于固定机构四周底部，固定柱中间位置设置有螺杆固定板；振动机构包括振动框、弹簧、滑轨、气泵、伸缩管、第一滑块、支撑杆、U形架、卡槽、马达固定板、孔径轴、半圆固定架、限位杆、第二螺纹孔和第二滑块。本实用新型通过设置振动机构，使得马达固定板上的小马达振动时可以直接降低阴极膜厚度，比从阴阳极距离调节来降低阴极膜厚度有更好的效果。这种方式大大提高了阴极表面还原反应的速率，从而提高了电镀效率。

技术领域

本实用新型涉及工业电镀领域，具体涉及一种阴极震动的高性能的电镀设备。

背景技术

目前，随着半导体、半导体封装、被动元件和PCB技术快速发展，对电镀设备的要求也越来高。不仅3D封装技术要求电镀有很高的可用电流密度，而且扇出封装、被动元件、PCB等对电镀均匀性提出了很高的要求。从产量的角度来看，工业电镀也希望很高的电流密度。如果仅仅依赖电镀药水本身的改良已经无法满足这方面的要求。为此，从设备的改良和完善来解决以上关键技术已经成为大势所趋。

实用新型内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种阴极震动的高性能的电镀设备，通过设置振动机构，使得马达固定板上的小马达振动时可以直接降低阴极膜厚度，比从阴阳极距离调节来降低阴极膜厚度有更好的效果。这种方式大大提高了阴极表面还原反应的速率，从而提高了电镀效率。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种阴极震动的高性能的电镀设备，包括机体，所述机体包括固定机构和振动机构，所述固定机构的阴极板框顶部固定连接振动机构的振动框底部，所述固定机构包括固定柱、螺杆固定板、调节螺杆和阴极板框，所述固定柱固定安装于固定机构四周底部，所述固定柱中间位置设置有螺杆固定板，所述螺杆固定板表面一侧贯穿设置有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔内圈相匹配设置有调节螺杆，所述固定柱顶部固定设置有阴极板框；所述振动机构包括振动框、弹簧、滑轨、气泵、伸缩管、第一滑块、支撑杆、U形架、卡槽、马达固定板、孔径轴、半圆固定架、限位杆、第二螺纹孔和第二滑块，所述振动机构底部固定设置有振动框，所述振动框四周固定设置有弹簧，所述振动框顶部和底部均固定设置有滑轨，所述顶部的滑轨一端固定设置有气泵，所述气泵输出端固定设置有伸缩管，所述伸缩管另一端固定连接有第一滑块，所述第一滑块底部贯穿顶部滑轨一侧固定连接有支撑杆，所述支撑杆另一端固定连接有平行于水平面的U形架，所述U形架两端均匀对称设置有卡槽，所述卡槽之间贴合放置有马达固定板，所述马达固定板表面均匀固定设置有孔径轴，所述孔径轴两端延其同轴旋转均设置有半圆固定架，所述半圆固定架远离孔径轴一侧固定设置有限位杆，所述限位杆上贯穿设置有第二螺纹孔，所述U形架底部两端均固定设置有第二滑块。

进一步的，所述阴极板框内固定设置有阴极膜。

进一步的，所述第二滑块滑动安装于底部的滑轨内。

进一步的，所述第二螺纹孔内设置有与其相匹配的螺丝。

进一步的，所述调节螺杆顶部固定设置有螺帽。

进一步的，所述固定柱底部固定设置有吸盘。

作为本实用新型进一步的方案：

本实用新型的有益效果：

(1)本实用新型的一种阴极震动的高性能的电镀设备，通过设置振动机构，使得马达固定板上的小马达振动时可以直接降低阴极膜厚度，比从阴阳极距离调节来降低阴极膜厚度有更好的效果。这种方式大大提高了阴极表面还原反应的速率，从而提高了电镀效率。

(2)通过设置多个马达固定板，使得可以根据不同的阴极随时调节马达的数量，以达到保证阴极安全性问题。