[实用新型]一种用于防污表面涂层的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201821792627.5 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN209162181U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 卢伟贤;易敏龙;潘志豪 | 申请（专利权）人： | 香港生产力促进局 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张秋越 |
| 地址： | 中国香港九*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发室 真空室 真空镀膜装置 隔板 表面涂层 器皿 防污 涂料 承载 加热器 本实用新型 真空室内部 挂具支架 开关控制 空间连通 抽真空 机械泵 屏蔽门 分隔 加热 | ||
1.一种用于防污表面涂层的真空镀膜装置，其特征在于，包括：
真空室；
蒸发室，位于所述真空室的下方，二者通过隔板分隔，所述隔板上设有由开关控制的蒸发室屏蔽门；
样品挂具支架，设置于所述真空室中；
承载涂料的器皿，其设置在蒸发室中；
用于加热承载涂料的器皿的加热器，设置于所述蒸发室中；
用于抽真空的机械泵，其与真空室内部空间连通。
2.根据权利要求1所述的用于防污表面涂层的真空镀膜装置，其特征在于，还包括设备框架，所述隔板固定在设备框架上，设备框架下方形成蒸发室，上方形成真空室。
3.根据权利要求1所述的用于防污表面涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜装置上设有PLC触摸屏及主电源开关。
4.根据权利要求1所述的用于防污表面涂层的真空镀膜装置，其特征在于，控制所述蒸发室屏蔽门的开关设置在真空室和蒸发室的外部。
5.根据权利要求1所述的用于防污表面涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空室和承载涂料的器皿由防腐材料构成。
6.根据权利要求1所述的用于防污表面涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述隔板和蒸发室屏蔽门由防腐材料构成。
7.根据权利要求6所述的用于防污表面涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述防腐材料为玻璃、陶瓷或钛金属。
8.根据权利要求1所述的用于防污表面涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述样品挂具支架，包括样品悬挂部和支架，样品悬挂部固定在支架上方，所述支架为可调节高度的支架。
9.根据权利要求1所述的用于防污表面涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述承载涂料的器皿设置在加热器的上方。
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