[实用新型]一种压电薄膜麦克风结构

权利要求书

1.一种压电薄膜麦克风结构，其特征在于：具有硅晶圆衬底（1），该硅晶圆衬底（1）设有贯通的空腔（11），在空腔（11）的一端头上覆盖第一压电薄膜（2），该第一压电薄膜（2）构成振动板；以及在第一压电薄膜（2）的上表面附设感知压电信号的压电叠层（3），所述压电叠层（3）至少具有一层第二压电薄膜（31）及设在第二压电薄膜（31）上下表面的电极层（32）。

2.根据权利要求1所述的一种压电薄膜麦克风结构，其特征在于：所述压电叠层（3）具有多层第二压电薄膜（31），相邻第二压电薄膜（31）之间电极被该相邻第二压电薄膜所共有。

3.根据权利要求1或2所述的一种压电薄膜麦克风结构，其特征在于：所述第二压电薄膜（31）的厚度小于5微米。

4.根据权利要求1所述的一种压电薄膜麦克风结构，其特征在于：所述覆盖在空腔（11）上的第一压电薄膜（2）以及在第一压电薄膜（2）上的压电叠层（3）一起分割形成多个一端连接硅晶圆衬底（1）的悬臂梁，所有悬臂梁上的电信号根据使用要求被串联或者并联输出；所有悬臂梁的自由端由覆盖膜（4）连接在一起。

5.根据权利要求4所述的一种压电薄膜麦克风结构，其特征在于：所述第一压电薄膜（2）为圆形、椭圆形或多边形，第一压电薄膜（2）以及在第一压电薄膜（2）上的压电叠层（3）被第一压电薄膜（2）中心到各个圆弧点或顶点的连线位置分割成多个悬臂梁，并于第一压电薄膜（2）中心位置附近将悬臂梁的自由端用覆盖膜（4）连接起来。