[实用新型]一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置有效
| 申请号: | 201821138811.8 | 申请日: | 2018-07-18 |
| 公开(公告)号: | CN208678767U | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
| 发明(设计)人: | 杨春水;司马超;张坤;曹小康;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 | 申请(专利权)人: | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号: | B01D53/75 | 分类号: | B01D53/75;B01D53/86;B01D47/06;B01D53/44 |
| 代理公司: | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 | 代理人: | 郑直 |
| 地址: | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 水洗装置 反应腔 冷却塔 酸性气体 废水箱 粉尘环境 连接管道 水洗喷淋 废气 半导体制造过程 本实用新型 处理设备 工艺气体 冷却降温 连接软管 排放标准 水流冲洗 出气端 出气口 进气端 有机物 掉落 排出 粉尘 | ||
1.一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置,其特征在于:包括前端水洗装置(1)、第一反应腔(2)、第二反应腔(3)、后端水洗装置(4)、冷却塔(5)和废水箱(11),所述前端水洗装置(1)包括前端水洗腔体(101)和安装在前端水洗腔体(101)上的进气法兰(102)、出气法兰一(103)和出水法兰一(104),所述进气法兰(102)和出气法兰一(103)分别竖直焊接在前端水洗腔体(101)的顶部左侧和右侧,所述出水法兰一(104)竖直焊接在前端水洗腔体(101)的底部并通过连接软管一(9)和废水箱(11)连接,所述前端水洗腔体(101)的左侧上部和下部分别水平焊接有喷头法兰一(106)和喷头法兰二(107),所述前端水洗腔体(101)的右侧下部水平焊接有喷头法兰三(108),所述喷头法兰一(106)、喷头法兰二(107)和喷头法兰三(108)内均设有喷头一(105);
所述第一反应腔(2)包括反应腔一(21)和主进气法兰一(22),所述主进气法兰一(22)设于反应腔一(21)的顶部中间,所述出气法兰一(103)通过连接管道一(6)和主进气法兰一(22)连接并且连接管道一(6)上设有控制阀(7),所述反应腔一(21)的底部设有出气法兰二(25),所述第二反应腔(3)包括反应腔二(31)和主进气法兰二(32),所述主进气法兰二(32)设于反应腔二(31)的顶部中间,所述出气法兰二(25)和主进气法兰二(32)通过连接管道二(8)连接在一起,所述反应腔二(31)的底部和后端水洗装置(4)连接,所述后端水洗装置(4)包括后端水洗腔体(41)和设于水洗腔体(41)内的喷头二(42),所述喷头二(42)对称设于后端水洗腔体(41)的左右两侧,所述后端水洗腔体(41)的顶部左边设有进气端,顶部右边设有出气端,后端水洗腔体(41)的进气端和反应腔二(31)的底部直接连接,后端水洗腔体(41)的出气端和冷却塔(5)的底部直接连接,所述后端水洗腔体(41)的底部设有出水法兰二(43)并通过连接软管二(10)和废水箱(11)连接,所述冷却塔(5)内部均布设有冷却板(51),所述冷却塔(5)内部的中间和上部分别设有喷头三(52)和喷头四(53),所述冷却塔(5)的顶部水平设有出气口(55)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置,其特征在于:所述前端水洗腔体(101)的内部中间竖直安装有挡板(113),所述挡板(113)和前端水洗腔体(101)的顶部连接并将前端水洗腔体(101)的内部分隔成左、右两个腔室。
3.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置,其特征在于:所述前端水洗腔体(101)的前侧在每个喷头一(105)安装处对应设有矩形的观察口,所述观察口的内侧均布焊接有压铆螺母(112),所述观察口的外侧通过锁紧螺钉(109)安装有透明面板(111),所述透明面板(111)和前端水洗腔体(101)之间加装有密封垫(110)。
4.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置,其特征在于:所述前端水洗腔体(101)的内部的下方设有过滤板(114),所述过滤板(114)的下方设有支撑板(115)并焊接在前端水洗腔体(101)的内壁上,所述过滤板(114)通过支撑板(115)水平安装在前端水洗腔体(101)内。
5.根据权利要求3或4所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置,其特征在于:所述前端水洗腔体(101)的左侧下部也设有矩形的观察口,所述观察口的底部和支撑板(115)处于相同的水平高度。
6.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置,其特征在于:所述进气法兰(102)和出气法兰一(103)的数量分别为四个和一个。
7.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置,其特征在于:所述反应腔一(21)和反应腔二(31)的顶部的两边分别设有辅进气法兰一(13)和辅进气法兰二(33)。
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