[发明专利]一种双向式单晶硅棒切割装置有效

专利信息
申请号: 201810919031.5 申请日: 2018-08-14
公开(公告)号: CN108724501B 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 邱小永 申请(专利权)人: 浙江贝盛新材料科技有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/04
代理公司: 杭州新源专利事务所(普通合伙) 33234 代理人: 李大刚
地址: 313009 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 双向 单晶硅 切割 装置
【说明书】:

发明公开了一种双向式单晶硅棒切割装置,它包括固定板,固定板中部滑动连接有送料装置;送料装置的两侧均设置有移动板A,每个移动板A的两端部均设置有张紧轮;每个张紧轮上均转动连接有固定轴A和螺纹杆A;所述每个移动板A中部均设置有两个导向轮;所述送料装置的两端均设置有绕丝筒,两个绕丝筒之间连接有金刚石切割线;所述每个绕丝筒上均连接有固定轴C和轴承,每个固定轴C上均连接有转动轮;送料装置的两端均设置有移动杆,每个移动杆中部均螺纹连接有螺纹杆B;所述送料装置下方设置有传送带和电机C;所述固定板上连接有PLC控制器。本发明不仅能提高效率、使操作较方便,还具有适用范围广、机构灵活性较好和结构稳定性较好的优点。

技术领域

本发明涉及单晶硅加工制造行业的一种双向式单晶硅棒切割装置。

背景技术

单晶硅应用较广泛,而单晶硅的生产过程中需要用单晶硅棒切割装置对单晶硅棒进行切割成硅片,但现有的单晶硅棒切割装置在切割单晶硅棒时一般用转动的金刚石切割线从单晶硅棒的一侧锯向另一侧,速度较慢,效率较低;且对单晶硅棒切割装置上的张紧轮和导向轮的调节的操作较复杂,进而使单晶硅棒切割装置仅适用于安装单一规格的金刚石切割线,适用范围较小。因此,现有的单晶硅棒切割装置存在着效率较低、操作较复杂和适用范围较小的问题。

发明内容

本发明的目的在于,提供一种双向式单晶硅棒切割装置。本发明不仅能提高效率、使操作较方便,还具有适用范围较广的优点。

本发明的技术方案:一种双向式单晶硅棒切割装置,包括固定板,固定板中部滑动连接有送料装置,送料装置上连接有多个气缸A;送料装置的两侧均设置有与固定板滑动连接的移动板A,每个移动板A的两端部均设置有张紧轮;每个张紧轮上均转动连接有与移动板A滑动连接的固定轴A,每个固定轴A上均连接有与移动板A滑动连接的螺纹杆A;每个螺纹杆A一端均螺纹连接有位于移动板A一侧的螺母,螺母与移动板A之间连接有套接在螺纹杆A上的弹簧;所述每个移动板A中部均设置有两个导向轮,每个导向轮上均转动连接有与移动板A滑动连接的固定轴B;每个固定轴B上均连接有连接杆A,连接杆A一端转动连接有与移动板A螺纹连接的螺钉A;所述每个移动板A一侧均连接有多个位于固定板上的气缸B;所述送料装置的两端均设置有绕丝筒,两个绕丝筒之间连接有金刚石切割线;金刚石切割线与张紧轮和导向轮均连接,所述每个绕丝筒上均连接有固定轴C;每个固定轴C上均套接有与固定板滑动连接的轴承,每个固定轴C上均连接有皮带;每个皮带的一端均连接有转动轮,每个转动轮上均连接有与固定板滑动连接的电机A;所述送料装置的两端均设置有与固定板滑动连接的移动杆,每个移动杆的两端分别与轴承和电机A连接;每个移动杆中部均螺纹连接有螺纹杆B,每个螺纹杆B一端均连接有电机B;所述送料装置下方设置有传送带,传送带上连接有电机C;所述固定板上连接有PLC控制器,所述气缸A、气缸B、电机A、电机B和电机C均与PLC控制器电性连接;所述送料装置下方设置有固定在固定板上的冷却液万向管。

前述的一种双向式单晶硅棒切割装置中,所述送料装置包括移动板B,移动板B中部设有通孔;通孔上方设置有两个夹紧瓦,每个夹紧瓦上均连接有气缸C;所述移动板B顶端部两侧均连接有竖板,两个竖板之间连接有横板;横板中部滑动连接有竖杆,竖杆两侧均啮合连接有齿轮,每个齿轮上均连接有电机D;所述竖杆底端部连接有位于夹紧瓦上方的紧固环,紧固环侧壁螺纹连接有多个螺钉B;所述移动板B底端部的两侧均设置有滑块A,所述固定板上对应滑块A的位置处设有滑槽A;所述气缸C和电机D均与PLC控制器电性连接;所述固定板上对应送料装置的位置处设有开槽C。

前述的一种双向式单晶硅棒切割装置中,所述PLC控制器能够控制气缸A的伸缩、气缸B的伸缩、电机A的转动、电机B的转动、电机C的转动、气缸C的伸缩和电机D的转动。

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