[发明专利]一种中置移动关节式柔性解耦精密定位结构

权利要求书

1.一种中置移动关节式柔性解耦精密定位结构，其特征在于，包括矩形框架结构的固定平台(1)，所述固定平台(1)中央设置有正方形框架结构的运动平台(2)，所述运动平台(2)的四周对称安装有四个与固定平台(1)连接的桥式位移放大机构，每个所述桥式位移放大机构与运动平台(2)之间均采用移动关节(3)进行连接，其中两个所述桥式位移放大机构和与其对应的两个移动关节(3)沿X向布置，另外两个所述桥式位移放大机构和与其对应的两个移动关节(3)沿Y向布置，平行于X向布置的任一所述桥式位移放大机构采用压电陶瓷驱动器(10)驱动，平行于Y向布置的任一所述桥式位移放大机构采用压电陶瓷驱动器(10)驱动，实现XY平面内的二自由度平动；

所述移动关节(3)包括平行设置的上层横梁和下层横梁(303)，所述上层横梁包括沿直线设置的一个与桥式位移放大机构连接的长横梁(301)和两个短横梁(302)，两个短横梁(302)分别设置于长横梁(301)的两侧，所述长横梁(301)和下层横梁(303)之间通过两个长铰链(304)连接，每个所述短横梁(302)均连接有与运动平台(2)连接的短竖梁(307)，每个短横梁(302)与下层横梁(303)、短竖梁(307)之间均通过短铰链(305)连接有长竖梁(306)。

2.根据权利要求1所述的中置移动关节式柔性解耦精密定位结构，其特征在于，四个所述桥式位移放大机构均分为两类：

第一类桥式位移放大机构(A)分别沿X、Y向各设置一个，第一类桥式位移放大机构(A)包括平行设置的上横梁(4)和下横梁(5)，所述上横梁(4)和下横梁(5)内侧中部均设置有凸台作为输入端，所述上横梁(4)和下横梁(5)之间对称设置有两个中横梁(6)，两个中横梁(6)分别作为第一类桥式位移放大机构(A)的两个输出端，其中一个输出端连接固定平台(1)，另一个输出端连接移动关节(3)；每个所述中横梁(6)与上横梁(4)、下横梁(5)之间分别通过柔性铰链(8)连接两个竖梁(7)；

第二类桥式位移放大机构(B)分别沿X、Y向各设置一个，第二类桥式位移放大机构(B)仅在第一类桥式位移放大机构(A)的基础上增加了压电陶瓷驱动器(10)和预紧螺栓(9)，所述压电陶瓷驱动器(10)通过预紧螺栓(9)固定于上横梁(4)和下横梁(5)的输入端之间，且所述压电陶瓷驱动器(10)设置于两个中横梁(6)之间。