[发明专利]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于：包括第一衬底以及通过间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，所述第一衬底、间隔部、振膜围成了真空腔；其中，振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与第一衬底之间的距离；还包括用于输出变化电信号的浮栅场效应晶体管，所述浮栅场效应晶体管包括设置在衬底上的源极、漏极，还包括设置在振膜上的浮动栅极；

所述真空腔内的压力值小于1kPa；

所述真空腔内的空气粘度低于环境压力中空气粘度；

所述振膜的机械灵敏度为0.02至0.9nm/Pa；

所述振膜和第一衬底之间的初始间隙为1-100μm。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述浮动栅极设置在振膜上位于真空腔一侧的位置，或者设置在振膜上远离真空腔一侧的位置。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜采用复合结构，所述浮动栅极设置在振膜的复合结构中。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：还包括ASIC电路，所述ASIC电路集成在第一衬底上。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：振膜上的浮动栅极通过引线与第一衬底上的电路布图导通。

6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述引线的一端与浮动栅极导通，另一端在振膜上延伸至间隔部的位置，并穿过间隔部连接到第一衬底的电路布图中。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：在所述振膜远离真空腔的一侧还设置有第二衬底，所述第二衬底上对应振膜中部区域的位置形成有将振膜露出的空腔。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：在所述第一衬底远离真空腔的一侧设置有用于外接的焊盘。