[发明专利]排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法

说明书

本发明公开了一种排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法，涉及晶片加工技术领域，以解决现有绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面无法保持平行的技术问题。本发明所述的排线自适应装置中，卷径适应轴固定在支座的孔内，卷径适应座安装在卷径适应轴上，导轮座安装在卷径适应座左端，导轮安装在导轮座上，配重座安装在卷径适应座右端，配重滑板安装在配重座上方，固定杆竖直插入到配重滑板的螺纹孔内，配重固定在固定杆上；前后适应架固定在支座左端，前后适应座固定在前后适应架前端，两根前后适应轴分别支撑在前后适应座中，挡片安装在前后适应轴顶端，接触滑轮安装在前后适应轴下端，两个感应传感器固定在前后适应座右端。

技术领域

本发明涉及晶片加工技术领域，特别涉及一种排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法。

背景技术

目前，多线切割技术是世界上比较先进的晶片切割技术，其工作效率高，一次进刀可切割多片。在切割过程中，储线轮高速旋转实现收放线，与储线轮相连的导轮由排线机构带动在储线轮前后挡边之间往复移动，以实现均匀排线。最初，多线切割技术使用裸线加砂浆进行切割，储线轮和与其相连的导轮绕线平面平行，导轮数量较多；如今，多线切割设备多用镀结金刚线进行切割，切割速度快，污染小。具体地，在用金刚线进行切割时，切割导轮数量较少，储线轮和与其相连导轮的绕线平面近似垂直布置。

然而，本申请发明人发现，由于在绕线过程中，储线轮的直径会发生周期变化，与储线轮相连的导轮角度要做相应的调整以减小导轮的磨损；同时，绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面应该平行，但现实中由于各种原因，会发生前后偏差，影响切割过程。

因此，如何提供一种排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法，能够根据储线轮直径的变化，使切割线始终与导轮槽相切，并能够实时调整排线机构的运动速度，以保证绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面始终平行，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种排线自适应装置，以解决现有技术在绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面无法保持平行，容易会发生前后偏差而影响切割过程的技术问题。

本发明提供一种排线自适应装置，包括：支座，卷径适应机构和前后适应机构；所述卷径适应机构包括：卷径适应轴，卷径适应座，导轮座，导轮，配重座，配重滑板，固定杆和配重；所述前后适应机构包括：前后适应架，前后适应座，前后适应轴，前后适应压板，轴承螺帽，挡片，接触滑轮和感应传感器；所述支座的右端固定在排线滑板上，所述卷径适应机构固定在所述支座的前端，所述前后适应机构固定在所述支座的左端；所述卷径适应轴固定在所述支座的孔内，所述卷径适应座通过两个轴承支撑安装在所述卷径适应轴上，所述导轮座安装在所述卷径适应座的左端，所述导轮安装在所述导轮座上，所述配重座安装在所述卷径适应座的右端，所述配重滑板安装在所述配重座的上方，所述固定杆竖直插入到所述配重滑板的螺纹孔内，所述配重通过螺母固定在所述固定杆上；所述前后适应架固定在所述支座的左端，所述前后适应座固定在所述前后适应架的前端，两根所述前后适应轴分别通过一对轴承支撑在所述前后适应座中，所述前后适应压板同时压紧两个轴承外圈并固定在所述前后适应座上，所述轴承螺帽通过所述前后适应轴上的螺纹压紧轴承内圈，所述挡片通过螺母安装在所述前后适应轴的顶端，所述接触滑轮安装在所述前后适应轴的下端，两个所述感应传感器固定在所述前后适应座的右端。

实际应用时，所述排线自适应装置中所述卷径适应机构还包括：卷径限位座和限位柱；所述卷径限位座固定在所述支座的上端，两个所述限位柱固定在所述卷径限位座的螺纹孔内，所述限位柱的前端位于所述卷径适应座的上端缺口内。

其中，所述配重滑板的上端设有左右方向的长槽孔，所述配重滑板可左右滑动，以调整与所述配重座的固定位置，使所述导轮和所述配重在限位范围内任意位置相互平衡。

具体地，所述挡片为不完全圆片。

进一步地，所述挡片的中间有两个缺口，且上下位置处于所述感应传感器缺口的中间位置。