[实用新型]不等高垂直梳齿器件

说明书

本实用新型的不等高垂直梳齿器件，包括外框架、第一扭转结构、第二扭转结构以及梳齿结构，第二扭转结构设置在第一扭转结构与梳齿结构之间，第一扭转结构与第二扭转结构活动性设置在外框架上，第一扭转结构的一侧固定连接在外框架上，另一侧通过限位结构与第二扭转结构连接，第二扭转结构的一侧设有与梳齿结构相对应的梳齿部，梳齿部与梳齿结构之间具有高度差。该不等高垂直梳齿器件通过特殊的梳齿结构、止挡销结构以及扭转结构，在外力作用下，使该器件实现不等高垂直梳齿结构。故，该不等高垂直梳齿器件在结构上，无需多种材料符合，具有简单稳定的特点，同时，该器件结构易于实现。

技术领域

本实用新型涉及一种不等高垂直梳齿器件，属于微机电器件领域。

背景技术

MEMS不等高垂直梳齿结构中，不等高垂直梳齿由于其具有驱动电压较低、驱动位移较大、可实现离面位移、响应速度快、频率高等优点，常用在MEMS静电微扫描镜、MEMS静电微执行器、MEMS电容式惯性传感器等MEMS器件，特别是被MEMS微扫描镜广泛采用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种不等高垂直梳齿，该不等高垂直梳齿器件具有结构简单、稳定、易于实现的特点。

为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种不等高垂直梳齿器件，包括外框架、第一扭转结构、第二扭转结构以及梳齿结构，所述第二扭转结构设置在所述第一扭转结构与梳齿结构之间，所述第一扭转结构与第二扭转结构活动性设置在所述外框架上，所述第一扭转结构的一侧固定连接在所述外框架上，另一侧通过限位结构与所述第二扭转结构连接，所述第二扭转结构的一侧设有与所述梳齿结构相对应的梳齿部，所述梳齿部与所述梳齿结构之间具有高度差。

进一步地，所述不等高垂直梳齿器件还包括第一扭转梁和第二扭转梁，所述第一扭转梁连接所述第一扭转结构和外框架，所述第二扭转梁连接所述第二扭转结构和外框架。

进一步地，所述限位结构为止挡销结构，所述止挡销结构包括设置在所述第一扭转结构上的第一止挡销结构以及设置在所述第二扭转结构上的第二止挡销结构，所述第一止挡销结构包括第一挡销和第一插销，所述第二止挡销结构包括与所述第一挡销对应的第二插销以及与所述第一插销对应的第二挡销。

进一步地，所述第一扭转结构包括第一按压板，所述第一按压板设置在所述第一扭转结构的中间，所述第一止挡销结构设置在所述第一按压板的两侧。

进一步地，所述第二扭转结构包括第二按压板，所述第二按压板设置在所述第二扭转结构的中间，所述第二止挡销结构设置在所述第二按压板的两侧。

进一步地，所述第二扭转梁设置在所述第二止挡销结构和梳齿部之间，以方便该器件扭转。

进一步地，所述梳齿结构包括第一梳齿和梳齿框架，所述第一梳齿设置在所述梳齿框架上，所述梳齿部包括第二梳齿，所述第一梳齿与第二梳齿之间具有高度差。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型的不等高垂直梳齿器件通过特殊的梳齿结构、止挡销结构以及扭转结构，在外力作用下，使该器件实现不等高垂直梳齿结构。故，该不等高垂直梳齿器件具有结构简单、稳定，且易于实现的特点。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为本实用新型一实施例所示的不等高垂直梳齿器件的结构示意图；

图2为图1所示的不等高垂直梳齿器件的止挡销结构的示意图；

图3为图1所示的不等高垂直梳齿器件在未形成不等高垂直梳齿时的结构示意图。

具体实施方式