[实用新型]一种嵌套式蒸发舟

说明书

本实用新型公开了一种嵌套式蒸发舟，包括外舟体和若干内舟体，外舟体两端为电极，外舟体中部上表面设有蒸发槽，每一内舟体包括一导电层及一导热层，导热层的中部向下弯折形成可嵌套于蒸发槽的嵌套部，导电加热层的中部向下弯折形成可嵌套于嵌套部的容置部，嵌套部两端向外延伸形成覆设于电极上的绝缘延伸部，容置部两端向外延伸形成覆设于绝缘延伸部上的导电延伸部，导热层采用绝缘材料制作，内舟体有效防止了金属液体腐蚀外舟体，大大延长了蒸发舟的寿命，且因为有导热层的嵌套，可以保证导电层在蒸镀过程中不会产生变形，有效改善“双金属效应”。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀领域，特别涉及一种嵌套式蒸发舟。

背景技术

真空镀膜机是指在较高真空度下对工件进行镀膜加工的设备。真空镀膜机包括蒸发源，现有的蒸发型真空镀膜机通常采用在蒸发舟两端接入电极作为蒸发源。

在现有技术中，蒸发舟一般采用导电陶瓷材料或者石墨制作而成，但是此类蒸发舟使用寿命较短、润湿性能差，在蒸发过程中蒸发过程不稳定，金属液体渗入蒸发舟的陶瓷材料或者石墨材料的微小裂缝孔隙中，可造成蒸发舟材料受热膨胀，进而导致蒸发舟功能丧失，而金属类的蒸发舟在蒸镀过程中，由于舟体和蒸发材料的热膨胀系数不同，因此在金属蒸发舟上产生应力和变形，即产生双金属效应，导致蒸发舟损坏。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是解决现有技术中的蒸发舟使用寿命较短，金属液体导致蒸发舟功能丧失的技术问题。

为了解决以上技术问题，本实用新型提供了一种嵌套式蒸发舟，所述嵌套式蒸发舟包括外舟体和若干内舟体，所述外舟体两端为电极，所述外舟体中部上表面设有蒸发槽，每一所述内舟体包括一导电层及一导热层，所述导热层的中部向下弯折形成可嵌套于所述蒸发槽的嵌套部，所述导电加热层的中部向下弯折形成可嵌套于所述嵌套部的容置部，所述嵌套部两端向外延伸形成覆设于所述电极上的绝缘延伸部，所述容置部两端向外延伸形成覆设于所述绝缘延伸部上的导电延伸部，所述导热层采用绝缘材料制作。

可选的，所述导电层采用金属钨或者钛合金制成。

可选的，所述外舟体采用氧化物陶瓷或者石墨制成。

本实用新型的有益效果为：该嵌套式蒸发舟整体结构简单，易于制作和大批量生产；由于嵌套式蒸发舟包括外舟体和若干内舟体，外舟体两端为电极，外舟体中部上表面设有蒸发槽，每一内舟体包括一导电层及一导热层，导热层的中部向下弯折形成可嵌套于蒸发槽的嵌套部，导电加热层的中部向下弯折形成可嵌套于嵌套部的容置部，嵌套部两端向外延伸形成覆设于电极上的绝缘延伸部，容置部两端向外延伸形成覆设于绝缘延伸部上的导电延伸部，导热层采用绝缘材料制作，内舟体有效防止了金属液体腐蚀外舟体，当发生腐蚀时，只需要更换最内层的舟体，大大降低了更换成本，延长了蒸发舟的寿命，且因为有导热层的嵌套，可以保证导电层在蒸镀过程中不会产生变形，有效改善“双金属效应”，另外，在实际的操作中，将蒸发舟外舟体和导电层分别加热还可以实现大功率的蒸镀要求，可以根据体积情况选择合适的内舟体个数。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不应构成本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图。

图中所示：1-外舟体，2-第一内舟体，3-第二内舟体；21-第一导电层，22-第一导热层，23-第一嵌套部，24-第一容置部，31-第二导电层，32-第二导热层，33-第二嵌套部，34-第二容置部，231-第一绝缘延伸部，241-第一导电延伸部，331-第二绝缘延伸部，341-第二导电延伸部。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不是用于限制本实用新型。