[实用新型]一种镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，其特征在于，包括镀膜腔室以及设置于所述镀膜腔室内的基板支撑结构、加热装置和驱动装置，其中：

所述基板支撑结构包括多个支撑单元；

所述加热装置包括具有多个通孔的加热板体以及对应每个通孔设置的加热填充部，所述多个通孔与所述多个支撑单元一一对应套装，所述加热填充部位于所述支撑单元内，所述加热填充部通过滑动装配于所述支撑单元的连接部与所述通孔内壁连接；

所述驱动装置用于驱动所述加热装置沿支撑方向运动。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述加热板体和所述加热填充部靠近基板的一侧表面位于同一平面内。

3.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，每个支撑单元包括至少两个支撑杆，所述至少两个支撑杆沿所对应通孔的周向均匀分布。

4.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，每个支撑单元具有沿支撑方向开设的导向槽，所述连接部滑动装配于所述导向槽内。

5.如权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于，所述支撑单元为支撑筒。

6.如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，对应每个通孔，所述连接部为至少两个，且沿所述通孔的周向均匀分布。

7.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述加热装置包括电阻式加热装置、红外加热装置或激光加热装置。

8.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述加热填充部垂直于支撑方向的截面形状包括圆形或多边形。

9.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述基板支撑结构包括陶瓷基板支撑结构或铝基板支撑结构。

10.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述驱动装置包括步进电机或伺服电机。