[发明专利]光电探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710295428.7 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108807562B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 魏浩明;魏洋;姜开利;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0224 | 分类号： | H01L31/0224;H01L31/08;H01L31/18;B82Y30/00 |
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| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光电 探测器 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
本发明提供一种光电探测器，包括一基底，一叉指电极层和一光活性层。所述基底，所述叉指电极层和所述光活性层依次层叠接触设置。所述叉指电极层包括第一叉指电极和第二叉指电极，该第一叉指电极和第二叉指电极相互交错设置。
技术领域
本发明涉及一种光电探测器及其制备方法。
背景技术
光电探测器件由于具有制作成本低廉、材料来源广泛以及易于与其它光电器件集成等优点，已经引起了广泛的研究。现有的光电探测器一般具有两个电极层，而该两个电极层需要经过两次沉积制备，制备方法相对复杂且制备得到的光电探测器厚度较厚。
发明内容
有鉴于此，确有必要提供一种厚度较薄，且制备方法相对简单的光电探测器及其制备方法。
一种光电探测器，包括一基底，一叉指电极层和一光活性层；所述基底，所述叉指电极层和所述光活性层依次层叠接触设置，所述叉指电极层包括第一叉指电极和第二叉指电极，该第一叉指电极和第二叉指电极相互交错设置。
一种光电探测器的制备方法，包括：提供一基底，在该基底表面形成叉指电极层；在该叉指电极层上蒸镀形成光活性层。
相较于现有技术，本发明提供的光电探测器采用叉指电极层结构简单，有利于降低光电探测器的厚度。同时，本发明提供的光电探测器可一次形成叉指电极层，相比传统光电探测器的单独形成两个电极层，制备工艺简单，有利于提高效率降低成本。
附图说明
图1为本发明实施例光电探测器的结构示意图。
图2为本发明实施例光电探测器的叉指电极层的结构示意图。
图3为本发明实施例光电探测器制备方法的流程图。
图4为本发明实施例光电探测器制备装置的结构示意图。
图5为本发明实施例从碳纳米管阵列中拉取获得的碳纳米管膜的扫描电镜照片。
图6为本发明一实施例碳纳米管膜结构的扫描电镜照片。
图7及图8为不同分辨率下本发明一实施例的蒸发源的扫描电镜照片。
图9为本发明另一实施例光电探测器制备装置的结构示意图。
图10为本发明一实施例蒸镀后的蒸发源的扫描电镜照片。
图11为本发明一实施例形成的光活性层的扫描电镜照片。
图12为本发明一实施例形成的光活性层的XRD图谱。
图13为本发明实施例光电探测器阵列制备方法的过程示意图。
图14为本发明一实施例光电探测器阵列的子叉指电极层的结构示意图。
主要元件符号说明
光电探测器制备装置 100
光电探测器 200
蒸发源 110
碳纳米管膜结构 112
光活性层源材料 114
支撑体 120
真空室 130
电磁波信号输入装置 140
第一电信号输入电极 150
第二电信号输入电极 152
图案化栅网 160
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- 本申请提出了一种太阳能电池栅线偏移的修正方法及系统，该方法包括：基于预设间距，通过激光SE设备在太阳能电池片上刻蚀多个重掺杂区，并通过丝网印刷工艺在每个重掺杂区上印刷对应的栅线；通过相机视觉检测技术测量每个重掺杂区与对应的栅线之间的印刷偏移数据；以将栅线调整至对应的重掺杂区的中心为目标，根据印刷偏移数据对相应的重掺杂区的间距进行调整，并更新所述预设间距。该方法可以对重掺杂区域的间距进行调整，提高了电池片光电转换效率，降低了生产成本。
- 太阳能电池及光伏组件-202310855413.7
- 廖光明;王浩;金井升 - 晶科能源（海宁）有限公司;浙江晶科能源有限公司
- 2023-07-12 - 2023-10-20 - H01L31/0224
- 本申请实施例涉及一种太阳能电池及光伏组件，太阳能电池包括：基底；栅线，所述栅线位于所述基底的表面上，所述栅线包括沿第一方向间隔排布的副栅和沿第二方向间隔排布的主栅；辅助传输结构，所述辅助传输结构包括载流子传输线和载流子收集线，所述载流子收集线位于所述基底表面的布线区中，所述载流子传输线将所述载流子收集线与相邻的至少一个所述副栅电连接；其中，所述布线区为两个相邻所述主栅与位于两个相邻所述主栅之间的任意两个相邻所述副栅围成的区域。至少有利于提高太阳能电池的光电转换效率和良率，降低太阳能电池的制备成本。
- 太阳能电池及光伏组件-202310905072.X
- 金井升;张彼克;廖光明 - 晶科能源（海宁）有限公司;浙江晶科能源有限公司
- 2023-07-21 - 2023-10-20 - H01L31/0224
- 本申请实施例涉及一种太阳能电池及光伏组件，太阳能电池包括：基底，基底具有第一表面；半导体导电层，半导体导电层位于第一表面上；钝化层，钝化层位于半导体导电层远离基底的表面上；至少一个电极，电极位于钝化层远离基底的表面上，并贯穿钝化层与半导体导电层电接触，每一电极包括彼此电接触的第一子电极和第二子电极，在沿垂直于第一表面的方向上，第一子电极在半导体导电层内的延伸长度小于第二子电极在半导体导电层内的延伸长度。至少有利于降低太阳能电池的载流子汇集损耗，提高太阳能电池的光电转换效率。
- 一种光伏栅极线路结构、成型工艺与成型装置-202310910584.5
- 杨冠南;张坤;左炎;崔成强;张昱 - 广东工业大学
- 2023-07-24 - 2023-10-20 - H01L31/0224
- 本发明涉及线路板技术领域，尤其涉及一种光伏栅极线路结构、成型工艺与成型装置，其成型装置及其成型工艺均用于制备一种光伏栅极线路结构；其成型工艺包括在所述基板的上表面涂覆有介电层，得到涂覆介电层的基板；在导电丝线的外周复合有辅助涂料层，判断所述辅助涂料层为热塑性材料还是热固性材料；得到包覆热塑性材料的导电丝线；对所述待处理的复合线路进行加热处理，接着冷却至室温后，所述导电丝线与所述介电层电连接，得到复合线路；在所述基板的上表面涂覆保护层，覆盖固化后的所述复合线路和介电层的上表面，得到光伏栅极线路结构。本发明使光伏栅极线路结构的制作更加简单方便，且导电性能更好。
- 异质结太阳能电池及其制备方法、光伏组件以及光伏系统-202310964663.4
- 高纪凡;殷志豪;侯承利;杨庆贺;杨广涛;陈达明 - 天合光能股份有限公司;天合光能（常州）科技有限公司
- 2023-08-01 - 2023-10-20 - H01L31/0224
- 本申请涉及一种异质结太阳能电池及其制备方法、光伏组件以及光伏系统。该异质结太阳能电池包括异质结电池主体、过渡层以及金属电极；异质结电池主体包括衬底，所述衬底的相对两侧表面均依次层叠设置有本征非晶硅层、掺杂半导体膜层和透明导电层；衬底的至少一侧的透明导电层上层叠设有过渡层，且过渡层位于该透明导电层的背离衬底的一侧；衬底的相对两侧的透明导电层均电性连接有金属电极，与过渡层位于衬底相同侧的金属电极均设置于该过渡层上；过渡层被配置为能够至少部分阻隔金属电极扩散至对应的透明导电层；从而可减小电池制作过程中透明导电层发生的污染和损伤，提高异质结太阳能电池的转换效率。
- 一种太阳能电池-202321185320.X
- 王志强;蔡永安;程臻君;程彦江;徐希翔 - 隆基绿能科技股份有限公司
- 2023-05-16 - 2023-10-20 - H01L31/0224
- 本实用新型公开一种太阳能电池，涉及太阳能电池技术领域，用于解决电极制备工艺时间长、原材料用量大的问题。该太阳能电池包括电池基底和形成于电池基底的背面的电极栅线，电极栅线的任意位置的线宽为30μm～1500μm，电极栅线的任意位置的厚度为0.5μm～6μm。由于电极栅线的线宽大，使用较薄的材料就可以达到很好的导电效果，减少了电极栅线沉积所用的时间，提高了生产效率和产能，降低了原材料的使用。
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
