[发明专利]一种忆阻器及其应用有效
申请号: | 201611178578.1 | 申请日: | 2016-12-19 |
公开(公告)号: | CN106654009B | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 诸葛飞;胡令祥;曹鸿涛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 刘诚午 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 忆阻器 及其 应用 | ||
1.一种忆阻器,其特征在于,包括:依次在衬底上形成底电极层、中间介质层和顶电极层;
所述中间介质层由硫族化合物层和氧化物层组成,其中,硫族化合物层与底电极层相接,氧化物层与顶电极层相接;所述的氧化物层完全覆盖在硫族化合物层上。
2.根据权利要求1所述的忆阻器,其特征在于,所述硫族化合物层的材料为硫化锌、硫化银、硫化亚铜、硫化锗、硫化镉、硫化钨、硫化钼、硒化铅、硒化锌、硒化镉、硒化锗、碲化锌和碲化铟中的一种或多种。
3.根据权利要求2所述的忆阻器,其特征在于,所述硫族化合物层的材料为硫化锌。
4.根据权利要求1所述的忆阻器,其特征在于,所述氧化物层的材料为氧化锌、氧化锆、氧化铪、二氧化硅、氧化钽、二氧化钛、氧化铝、氧化镍和氧化钨中的一种或多种。
5.根据权利要求4所述的忆阻器,其特征在于,所述氧化物层的材料为氧化锌。
6.根据权利要求1所述的忆阻器,其特征在于,所述中间介质层的总厚度为1~500nm。
7.根据权利要求6所述的忆阻器,其特征在于,所述中间介质层的总厚度为70~100nm。
8.根据权利要求1所述的忆阻器,其特征在于,所述顶电极层的材料为铜、银、铝、钛、镍、锌、锡、锰和铁中的一种或多种,所述顶电极层的厚度为1~500nm。
9.根据权利要求8所述的忆阻器,其特征在于,所述顶电极层的材料为铜,其厚度为50nm。
10.一种根据权利要求1所述的忆阻器在制备神经突触仿生器件中的应用。
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