[发明专利]硅麦克风

权利要求书

1.一种硅麦克风，其特征在于，包括：

具有声腔的基底，在所述声腔边缘的基底上设有绝缘的多个振膜固定件；

位于各所述振膜固定件之上、且覆盖所述声腔的导电振膜，其中，所述导电振膜的中心区域具有第一梳齿；

固设在所述中心区域的中心电极件，包含与所述第一梳齿相交叉、且与所述第一梳齿之间留有间隙的第二梳齿；其中，所述第一梳齿和第二梳齿相对的面构成电容的两个电极。

2.根据权利要求1所述的硅麦克风，其特征在于，所述基底上还固设绝缘的电极固定件，用以支撑所述中心电极件；

所述中心电极件包含于自所述声腔边缘延伸至所述中心区域的延伸部件，和位于所述延伸部件在所述中心区域的端部的、包含第二梳齿的梳齿部件；其中，所述延伸部件和梳齿部件均固设在所述电极固定件上；

所延伸部件与所述导电振膜之间具有与所述第一梳齿和第二梳齿之间的间隙相同的间隙；所述梳齿部件中的第二梳齿与所述第一梳齿相交叉。

3.根据权利要求2所述的硅麦克风，其特征在于，各所述振膜固定件、所述导电振膜、各所述第一梳齿和各所述第二梳齿均沿所述中心电极件轴对称。

4.根据权利要求1所述的硅麦克风，其特征在于，还包括：设在所述中心电极件上的第一电极柱；和/或设在所述振膜固定件处的所述导电振膜之上的第二电极柱。

5.根据权利要求1所述的硅麦克风，其特征在于，所述导电振膜的至少中心区域覆盖有应力膜，覆盖了所述应力膜的第一梳齿和未覆盖应力膜的第二梳齿之间具有高度差。

6.根据权利要求1所述的硅麦克风，其特征在于，所述第一梳齿和第二梳齿的数量为多个，且各所述第一梳齿和第二梳齿所构成的电容呈轴对称或圆周对称。

7.根据权利要求1所述的硅麦克风，其特征在于，所述声腔由背腔、和设置在所述背腔顶面且与所述背腔相通的多个声孔构成；

所述导电振膜和所述声孔之间被所述振膜固定件间隔有膜层气隙。

8.根据权利要求7所述的硅麦克风，其特征在于，还包括：在所述膜层气隙内，贴于所述导电振膜的弹性件，所述弹性件相邻于所述振膜固定件、且与所述振膜固定件保留预设间隔。

9.根据权利要求1所述的硅麦克风，其特征在于，所述导电振膜上设有气孔。

10.根据权利要求1所述的硅麦克风，其特征在于，所述第一梳齿和第二梳齿通过干法刻蚀同步成型；所述导电振膜为单晶硅材料。