[实用新型]用于硅片局部湿法腐蚀减薄的模具有效
| 申请号： | 201520992733.8 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN205152337U | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 江海波;韩恒利;钟玉杰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/08 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人： | 侯懋琪;侯春乐 |
| 地址： | 400060 重庆*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 硅片 局部 湿法 腐蚀 模具 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于硅片局部湿法腐蚀减薄的模具，其特征在于：所述模具由两个压盖（1）和两个环形密封垫（2）组成；所述压盖（1）的内端面上设置有安装槽（1-1）；安装槽（1-1）的中部设置有通孔（1-2），通孔（1-2）的外周边沿与安装槽（1-1）的槽壁之间留有间隔；安装槽（1-1）的槽底被通孔（1-2）所截后形成的环形端面记为密封面（1-3）；所述环形密封垫（2）设置在密封面处，环形密封垫（2）的内孔边沿与所述通孔（1-2）的外周边沿齐平，两个环形密封垫（2）分别对应两个压盖（1）上的密封面；两个压盖（1）转动连接，当两个压盖（1）转动到位时，两个压盖（1）的内端面相互接触，两个压盖（1）上的安装槽（1-1）、通孔（1-2）和密封面（1-3）互相对正。
2.根据权利要求1所述的用于硅片局部湿法腐蚀减薄的模具，其特征在于：所述通孔（1-2）的边沿设置有倒角。
3.根据权利要求1所述的用于硅片局部湿法腐蚀减薄的模具，其特征在于：所述压盖（1）上安装槽（1-1）的外侧设置有一连接孔，两个压盖（1）上的连接孔位置对应。
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