[发明专利]一种电子湿化学品中B杂质元素的分析方法在审
| 申请号： | 201510982608.3 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN105606591A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 傅明星;赵晓亚;曹文兵;汪靖;曾朵清;王海 | 申请（专利权）人： | 浙江凯圣氟化学有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226 | 代理人： | 程晓明 |
| 地址： | 324004 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子 化学品 杂质 元素 分析 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子湿化学品中B杂质元素的分析方法，采用电感耦合等离子体原子发射光谱 仪进行分析，其特征在于开机后在进样之前先用高纯无机酸清洗电感耦合等离子体原子发 射光谱仪的进样系统48～72小时，再用超纯水冲洗6～18小时，中间不关机。
2.根据权利要求1所述的电子湿化学品中B杂质元素的分析方法，其特征在于所述电感 耦合等离子体原子发射光谱仪工作参数为：功率1.5KW，气压力0.7Mpa，氢气0.05Mpa，氦气 0.05Mpa，载气流速0.75L/min，补偿气流速0.41L/min，采样深度8mm。
3.根据权利要求1所述的电子湿化学品中B杂质元素的分析方法，其特征在于所述高纯 无机酸为高纯硝酸和/或高纯氢氟酸。
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